晶圆升降机构关键技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| ·国内外相关技术的发展现状及分析 | 第9-13页 |
| ·课题研究主要内容 | 第13-15页 |
| 第2章 晶圆升降机构功能及机理分析 | 第15-29页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·晶圆升降机构流程及功能 | 第15-16页 |
| ·晶圆升降机构流程 | 第15页 |
| ·晶圆升降机构功能 | 第15-16页 |
| ·晶圆升降机构总体方案设计 | 第16-17页 |
| ·驱动系统 | 第17-19页 |
| ·检测系统 | 第19-21页 |
| ·真空吸附系统 | 第21-23页 |
| ·空气静压系统 | 第23-26页 |
| ·机械结构设计 | 第26-28页 |
| ·簧片缓冲装置设计 | 第26-27页 |
| ·防转装置设计 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 晶圆升降机构的性能分析 | 第29-42页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·ANSYS概述 | 第29-30页 |
| ·晶圆参数的分析 | 第30-31页 |
| ·真空吸管结构优化 | 第31-34页 |
| ·簧片变形分析 | 第34-38页 |
| ·空气静压装置分析 | 第38-41页 |
| ·装置建模和静力特性分析 | 第38-40页 |
| ·装置振动模态分析 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 晶圆升降机构控制系统的设计 | 第42-53页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·控制系统总体设计方案 | 第42-43页 |
| ·伺服系统的组成 | 第43-46页 |
| ·伺服系统 | 第43-45页 |
| ·伺服系统的组建 | 第45-46页 |
| ·伺服系统的调试 | 第46-51页 |
| ·伺服系统PID控制 | 第46-47页 |
| ·系统PID调试依据 | 第47-48页 |
| ·系统ELMO控制器中的PID调试 | 第48-51页 |
| ·真空吸附系统控制设计 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 晶圆升降机构实验研究 | 第53-65页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·晶圆升降机构实验系统搭建 | 第53-55页 |
| ·晶圆升降机构性能测试 | 第55-56页 |
| ·晶圆升降机构重复定位精度实验 | 第56-59页 |
| ·重复定位精度评价方法 | 第56-57页 |
| ·重复定位精度实验分析 | 第57-59页 |
| ·晶圆升降机构分辨能力实验 | 第59-63页 |
| ·晶圆升降机构稳定性实验 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
