大功率AlGaN/GaN HEMT关键制作工艺的研究

第1章 绪 论	第1-13页
·GaN基HEMT的优势和应用前景	第7-10页
·国内外GaN基HEMT的研究进展	第10-11页
·GaN基HEMT面临的问题	第11页
·论文研究的主要内容	第11-13页
第2章 ICP等离子氧化降低栅极漏电流的研究	第13-22页
·降低栅极漏电流的意义	第13页
·栅极漏电流的来源	第13-14页
·降低栅极漏电流的方法	第14页
·器件制作工艺	第14-20页
·测量结果和分析	第20-21页
·本章小结	第21-22页
第3章 大功率GaN HEMT热阻问题的研究	第22-28页
·降低大功率器件热阻的意义	第22页
·热阻的来源	第22-23页
·热阻大小的理论估算	第23-25页
·降低热阻的新方法	第25-27页
·本章小结	第27-28页
第4章 倒装焊器件设计和制作工艺的研究	第28-35页
·GaN HEMT的设计和制作工艺	第28-31页
·热沉的设计和制作工艺	第31-32页
·器件和热沉的组装工艺	第32-33页
·测量结果和分析	第33-34页
·本章小结	第34-35页
第5章 GaN HEMT的工艺优化	第35-39页
·欧姆接触的研究	第35-37页
·刻蚀栅槽的研究	第37-38页
·本章小结	第38-39页
第6章 论文总结	第39-40页
参考文献	第40-43页
致谢	第43-44页
声明	第44-45页
附录	第45-46页
个人简历、在学期间的研究成果及发表的学术论文	第46页