| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第9-15页 |
| 1.2.1 超精密运动平台发展现状 | 第9-11页 |
| 1.2.2 基于W-H结构模型的辨识与控制研究现状 | 第11-15页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 可变狭缝精密运动平台的系统组成 | 第17-28页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 扫描光刻机整体结构及可变狭缝运动平台功能概述 | 第17-18页 |
| 2.3 可变狭缝精密运动平台电控系统设计 | 第18-19页 |
| 2.4 可变狭缝精密运动平台机械系统设计 | 第19-27页 |
| 2.4.1 系统总体结构方案设计 | 第19-20页 |
| 2.4.2 系统振动性能分析 | 第20-24页 |
| 2.4.3 系统主要器件选型分析 | 第24-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 典型单值非线性Wiener-Hammerstein系统辨识 | 第28-48页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 关键项分离原则 | 第28-29页 |
| 3.3 饱和非线性Wiener-Hammerstein系统辨识 | 第29-37页 |
| 3.3.1 饱和非线性Wiener–Hammerstein系统模型 | 第30-31页 |
| 3.3.2 基于一般递推算法的饱和非线性参数辨识 | 第31-32页 |
| 3.3.3 饱和非线性Wiener–Hammerstein系统辨识仿真 | 第32-37页 |
| 3.4 死区非线性Wiener-Hammerstein系统辨识 | 第37-47页 |
| 3.4.1 死区非线性Wiener-Hammerstein系统模型 | 第38-40页 |
| 3.4.2 基于一般递推算法的死区非线性参数辨识 | 第40-42页 |
| 3.4.3 死区非线性Wiener–Hammerstein系统辨识仿真 | 第42-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 间隙非线性Wiener-Hammerstein系统辨识 | 第48-63页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 基本粒子群算法 | 第48-51页 |
| 4.2.1 粒子群算法基本原理 | 第48-49页 |
| 4.2.2 粒子群算法数学表示 | 第49-51页 |
| 4.3 改进的粒子群算法 | 第51-53页 |
| 4.3.1 惯性权重自适应调整方法 | 第51-52页 |
| 4.3.2 算法流程 | 第52-53页 |
| 4.4 间隙非线性Wiener-Hammerstein系统辨识 | 第53-62页 |
| 4.4.1 间隙非线性Wiener-Hammerstein系统模型 | 第54-56页 |
| 4.4.2 基于改进粒子群算法的间隙非线性参数辨识 | 第56-60页 |
| 4.4.3 间隙非线性Wiener-Hammerstein系统辨识仿真 | 第60-62页 |
| 4.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 基于辨识模型的Wiener-Hammerstein系统控制 | 第63-73页 |
| 5.1 引言 | 第63页 |
| 5.2 内模控制原理 | 第63-64页 |
| 5.3 内模控制器设计 | 第64-67页 |
| 5.3.1 死区非线性Wiener-Hammerstein系统逆模型 | 第64-65页 |
| 5.3.2 死区非线性Wiener-Hammerstein系统内模控制器设计 | 第65-67页 |
| 5.4 内模控制仿真 | 第67-72页 |
| 5.4.1 算例设计 | 第67-68页 |
| 5.4.2 仿真验证 | 第68-72页 |
| 5.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文及其他成果 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
