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TO252型转塔式半导体分选机关键技术研究

摘要第5-6页
Abstract第6页
第一章 绪论第10-16页
    1.1 课题背景及意义第10-11页
    1.2 国内外研究现状第11-14页
        1.2.1 国外研究现状第11页
        1.2.2 国内研究现状第11-13页
        1.2.3 分选机关键技术研究现状第13-14页
    1.3 论文的主要研究内容及组织结构第14-16页
第二章 分选机系统总体设计第16-22页
    2.1 工位功能介绍第16-17页
    2.2 系统需求分析及性能指标第17页
    2.3 主要工位结构介绍第17-19页
    2.4 电气系统设计第19-21页
        2.4.1 电气系统组成第19-20页
        2.4.2 电机选型与控制第20-21页
    2.5 本章小结第21-22页
第三章 分选机控制系统软件设计第22-40页
    3.1 软件总体设计第22-23页
    3.2 功能类设计第23-27页
        3.2.1 硬件对象类第24-26页
        3.2.2 工位模块类第26-27页
        3.2.3 系统参数类第27页
    3.3 数据库设计第27-29页
        3.3.1 数据表设计第27-28页
        3.3.2 数据库访问第28-29页
    3.4 多工作线程设计第29-35页
        3.4.1 工位运行逻辑分析第29页
        3.4.2 工作线程详细设计第29-33页
        3.4.3 工作线程间逻辑控制第33-35页
    3.5 软件界面设计第35-36页
    3.6 控制系统样机试验第36-39页
    3.7 本章小结第39-40页
第四章 分选机高速旋转真空吸嘴吸持芯片的动力学分析第40-52页
    4.1 真空吸嘴的工作原理第40页
    4.2 分选机真空吸嘴吸持芯片旋转的动力学模型第40-42页
    4.3 动态吸力分析第42-49页
        4.3.1 S形加减速曲线下动态吸力分析第42-46页
        4.3.2 梯形加减速曲线动态吸力分析第46-48页
        4.3.3 两种运动形式下动态吸力对比分析第48-49页
    4.4 最小真空度确定第49-50页
    4.5 本章小结第50-52页
第五章 基于CFD的分选机真空吸嘴吸附性能研究第52-68页
    5.1 分选机真空吸嘴结构设计第52-53页
    5.2 分选机真空吸嘴吸附芯片的物理模型第53-54页
    5.3 分选机真空吸嘴流场数值模拟第54-59页
        5.3.1 流体力学理论基础第54-55页
        5.3.2 计算流体力学CFD理论基础第55-56页
        5.3.3 真空吸嘴内外部流场仿真第56-59页
    5.4 基于正交试验的分选机真空吸嘴吸附性能分析第59-66页
        5.4.1 数值模拟正交试验第59-63页
        5.4.2 单因素数值模拟试验第63-65页
        5.4.3 吸附性能分析第65-66页
    5.5 本章小结第66-68页
第六章 SECS通信协议在分选机上的应用研究第68-82页
    6.1 SECS协议介绍第68-71页
        6.1.1 协议模型第68-69页
        6.1.2 协议报文格式第69-71页
    6.2 分选机SECS通信模块设计第71-78页
        6.2.1 通信总流程第71-72页
        6.2.2 Socket通信第72-73页
        6.2.3 协议报文处理第73-76页
        6.2.4 生产参数收集第76-77页
        6.2.5 报警信息收集第77-78页
        6.2.6 远程控制第78页
    6.3 分选机SECS通信试验第78-80页
    6.4 本章小结第80-82页
第七章 总结与展望第82-84页
    7.1 总结第82-83页
    7.2 展望第83-84页
致谢第84-86页
参考文献第86-90页
攻读硕士学位期间发表的论文第90页

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