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集成电路的老化预测与ESD防护研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-7页
致谢第7-13页
第一章 引言第13-20页
   ·集成电路的发展第13-14页
   ·集成电路的可靠性问题第14-17页
     ·老化对集成电路的影响第16页
     ·ESD 对集成电路内部器件的影响第16-17页
   ·相关研究技术及现状第17-18页
   ·本文研究内容及组织结构第18-20页
     ·本文主要研究内容第18页
     ·本文的章节组织第18-20页
第二章 集成电路老化预测与 ESD 防护基本原理第20-32页
   ·建立时间与保持时间第20页
   ·集成电路的老化预测第20-27页
     ·NBTI 效应第21-22页
     ·老化预测基本原理第22-24页
     ·老化预测电路设计方法第24-25页
     ·抗老化延迟单元结构分析第25-26页
     ·检测单元结构原理分析第26-27页
   ·集成电路的 ESD 防护基本原理第27-32页
     ·ESD 损伤机理第27-30页
     ·集成电路中解决 ESD 的方法第30-32页
第三章 基于反馈自锁的老化预测电路设计第32-39页
   ·HSPICE 软件简介第32页
   ·基于反馈自锁的老化预测电路设计第32-36页
     ·延迟单元结构第32-34页
     ·基于反馈自锁的老化预测电路结构第34-36页
   ·时序分析第36-37页
   ·实验数据分析第37-39页
第四章 基于 GG-NMOS 和二极管的片上 ESD 仿真研究第39-48页
   ·TCAD 器件仿真软件介绍第39-40页
   ·基于二极管的 ESD 防护电路第40-42页
     ·二极管的 ESD 防护原理第41-42页
     ·模拟仿真结果第42页
   ·基于 GG-NMOS 的 ESD 防护电路第42-48页
     ·GG-NMOS 的 ESD 防护电路结构图第43-45页
     ·模拟仿真结果第45-48页
第五章 总结与展望第48-50页
   ·总结第48-49页
   ·展望第49-50页
参考文献第50-55页
攻读硕士学位期间发表的论文和参与的科研项目第55-56页

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