| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·集成电路制造工艺流程 | 第11-14页 |
| ·芯片成品率影响因素 | 第14-16页 |
| ·集成电路的可制造性设计 | 第16-18页 |
| ·论文的研究内容、创新点以及论文安排 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第二章 集成电路成品率测试测试结构用途以及种类 | 第20-26页 |
| ·测试结构种类 | 第20-24页 |
| ·光学检测结构 | 第20页 |
| ·基本的几何图形检测结构 | 第20-21页 |
| ·电学性能检测结构 | 第21-22页 |
| ·DRAM、SRAM和晶体管阵列等 | 第22-23页 |
| ·分立式元器件 | 第23-24页 |
| ·其它特殊的测试电路 | 第24页 |
| ·测试结构用途 | 第24-25页 |
| ·检测缺陷密度并预测成品率 | 第24-25页 |
| ·优化生产线 | 第25页 |
| ·提取新工艺参数 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 集成电路成品率测试结构自动实现 | 第26-34页 |
| ·完成测试版图的传统方法 | 第26页 |
| ·测试版图的自动实现方法 | 第26-32页 |
| ·测试结构层次化 | 第27-29页 |
| ·测试结构参数化 | 第29页 |
| ·构建模板结构 | 第29-32页 |
| ·测试结构实例化 | 第32页 |
| ·测试版图自动实现的优点 | 第32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 第四章 集成电路成品率测试结构自动实现在工程中的应用 | 第34-47页 |
| ·背景介绍 | 第34-39页 |
| ·传统的测试结构的不足 | 第36-37页 |
| ·新型测试结构 | 第37-39页 |
| ·参数化模板结构构建 | 第39-40页 |
| ·结构大规模实例化 | 第40页 |
| ·测试结果以及分析 | 第40-45页 |
| ·项目结论 | 第45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第五章 结论以及展望 | 第47-49页 |
| 参考文献 | 第49-53页 |
| 个人简历以及在校期间研究成果与发表论文 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54页 |