MEMS-DMs设计与工艺技术研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| 1 绪言 | 第8-16页 |
| ·课题背景综述 | 第8-9页 |
| ·自适应光学与MEMS | 第9-13页 |
| ·MEMS 技术概述 | 第9-11页 |
| ·光学领域中的MEMS 技术 | 第11-13页 |
| ·本项目需解决的问题 | 第13-15页 |
| ·小结 | 第15-16页 |
| 2 DMs结构设计 | 第16-23页 |
| ·变形镜的常见结构 | 第16-17页 |
| ·DMs 技术指标与制造方案选择 | 第17-19页 |
| ·结构建立 | 第19-22页 |
| ·小结 | 第22-23页 |
| 3 有限元方法的仿真分析 | 第23-34页 |
| ·DMs 力学性能分析 | 第23-24页 |
| ·有限元分析法介绍 | 第24-25页 |
| ·静电-力耦合理论与ANSYS 分析 | 第25-33页 |
| ·小结 | 第33-34页 |
| 4 MEMS 工艺技术研究 | 第34-56页 |
| ·工艺流程示意 | 第34-35页 |
| ·硅体加工 | 第35-45页 |
| ·材料选择 | 第35页 |
| ·腐蚀过程 | 第35-36页 |
| ·凸角补偿 | 第36-42页 |
| ·腐蚀深度监控 | 第42-44页 |
| ·对准 | 第44-45页 |
| ·键合工艺 | 第45-53页 |
| ·静电键合概述 | 第46-47页 |
| ·键合工艺设计 | 第47-51页 |
| ·实际键合过程 | 第51-53页 |
| ·划片分离 | 第53页 |
| ·封装 | 第53-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 5 工艺流程 | 第56-71页 |
| ·工艺流程单 | 第56-58页 |
| ·加工流水步骤及相关参数 | 第58-70页 |
| ·成果与测试 | 第70-71页 |
| 6 总结 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 附录 1 攻读学位期间发表论文目录 | 第76页 |
