| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·课题的提出 | 第8-9页 |
| ·微泵的国内外研究现状 | 第9-16页 |
| ·本文的主要工作 | 第16-17页 |
| 2 无阀微泵的工作原理及其运行模式 | 第17-27页 |
| ·无阀微泵的工作原理 | 第17页 |
| ·无阀微泵的运行模式 | 第17-27页 |
| ·扩散口/喷口流体分析 | 第18-22页 |
| ·压电双晶片的驱动原理 | 第22-27页 |
| 3 无阀微泵的计算机仿真 | 第27-40页 |
| ·双腔并联式无阀压电微泵的设计 | 第27-28页 |
| ·压电双晶片的仿真分析 | 第28-40页 |
| ·压电双晶片的结构静力学分析 | 第32-38页 |
| ·压电双晶片的结构动力学模态分析 | 第38-40页 |
| 4 无阀微泵的制作 | 第40-54页 |
| ·泵体的制作 | 第41-48页 |
| ·清洗 | 第41-42页 |
| ·氧化 | 第42页 |
| ·掩膜版的制作 | 第42-43页 |
| ·光刻 | 第43-45页 |
| ·腐蚀 | 第45-48页 |
| ·泵膜的制作 | 第48-49页 |
| ·压电双晶片的选择 | 第49-50页 |
| ·微泵的封装 | 第50-54页 |
| 5 实验结果及其分析 | 第54-65页 |
| ·压电双晶片振动测试 | 第54-57页 |
| ·微泵测试系统及测试方法 | 第57-58页 |
| ·测试系统的组建 | 第57页 |
| ·测试方法 | 第57-58页 |
| ·测试结果及分析 | 第58-65页 |
| ·单腔微泵驱动频率对流速的影响 | 第58-59页 |
| ·单腔微泵驱动电压对流速的影响 | 第59页 |
| ·单腔微泵泵膜厚度对流速的影响 | 第59-60页 |
| ·单腔微泵压电片驱动参数对流速的影响 | 第60-62页 |
| ·单腔微泵背压与流速的关系 | 第62-63页 |
| ·双腔并联式无阀压电微泵与单腔体无阀压电微泵的比较 | 第63-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |