基于三维界面应力传感器的微电容阵列测量方法的研究与实现

摘要	第1-4页
Abstract	第4-7页
第一章 绪论	第7-11页
·选题背景及意义	第7-9页
·选题背景介绍	第7-8页
·选题现实意义	第8-9页
·课题主要内容	第9页
·论文章节安排	第9-11页
第二章 三维界面应力传感器介绍	第11-17页
·三维界面应力传感器的基本结构	第11页
·三维界面应力传感器的设计	第11-15页
·传感器测量范围的确定	第11-12页
·器件大小的确定	第12页
·传感器材料的选择	第12-13页
·机械部分设计	第13-14页
·电极耦合大小的确定	第14-15页
·传感器的制作方法	第15页
·三维界面应力传感器	第15-17页
第三章 微电容阵列硬件测量电路的设计与实现	第17-47页
·微电容测量电路的设计与实现	第17-41页
·微电容测量电路	第17-22页
·本文选用的微电容测量电路	第22-41页
·微电容阵列测量方法	第41-45页
·微电容阵列	第41-42页
·微电容阵列测量电路	第42-45页
·本章小结	第45-47页
第四章 微电容阵列测量电路上位机的设计与实现	第47-61页
·串口通信协议	第47-54页
·串口通信	第47-49页
·LabVIEW 串口通信	第49-52页
·串口通信的实现	第52-54页
·LabVIEW 三维图	第54-58页
·三维曲面图	第54-56页
·三维参数图	第56-57页
·三维曲线图	第57-58页
·微电容阵列测量上位机实现	第58-59页
·本章小结	第59-61页
第五章 测量电路与上位机的测试	第61-65页
·下位机模块的功能测试	第61-62页
·上位机模块的功能测试	第62-64页
·系统联调及结果分析	第64页
·本章小结	第64-65页
第六章 总结与展望	第65-67页
致谢	第67-69页
参考文献	第69-71页