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MOS集成电路ESD防护器件的研究

摘要第1-4页
Abstract第4-8页
第一章 绪论第8-12页
   ·研究意义与背景第8-9页
   ·国内外研究现状第9-10页
   ·论文的主要内容及架构第10-12页
第二章 ESD 防护设计与测试方法第12-20页
   ·片上 ESD 防护的设计方法第12-15页
     ·基于 PAD 的 ESD 防护第12-13页
     ·基于电源轨的 ESD 防护第13-14页
     ·基于电源轨与基于 PAD 的两种 ESD 防护方法的比较第14-15页
   ·ESD 的测试模型第15-16页
   ·ESD 的测试方法第16-18页
     ·I/O-Pin 放电测试第16-17页
     ·Pin-Pin 放电测试第17页
     ·VDD-VSS 放电测试第17-18页
   ·ESD 测试设备第18-19页
     ·ZapMaster第18页
     ·TLP 测试系统第18-19页
     ·光发射显微镜第19页
   ·本章小结第19-20页
第三章 ESD 防护单元的研究与设计第20-40页
   ·基于二极管的 ESD 防护单元设计第20-26页
     ·ESD 二极管的电学特性第20-23页
     ·ESD 二极管与 LNA 的协同设计第23-26页
   ·基于纵向 NPN 的 ESD 防护单元设计第26-30页
     ·传统 NPN ESD 自触发结构的工作机理第26-27页
     ·带 P+/N-Well 二极管的 NPN 自触发结构设计第27-28页
     ·改进结构的数据分析第28-30页
   ·低压工艺下 GGNMOS 的 ESD 特性研究第30-35页
     ·GGNMOS 的工作机理第31页
     ·工艺对 GGNMOS ESD 特性的影响第31-32页
     ·器件宽度、沟道长度对 GGNMOS ESD 特性的影响第32-34页
     ·DCP、SCP 对 GGNMOS ESD 特性的影响第34-35页
   ·GGNMOS 的电路级建模第35-38页
   ·本章小结第38-40页
第四章 基于 SCR 的 ESD 防护器件的研究与设计第40-52页
   ·低触发压 SCR ESD 防护性能的研究第40-44页
     ·SCR 的工作机理第40-41页
     ·低触发压 SCR 的设计与分析第41-44页
   ·RC 辅助触发的 SCR 的设计与分析第44-45页
   ·NMOS 触发的 DDSCR 的设计与分析第45-48页
     ·DDSCR 的工作机理第45-46页
     ·NMDDSCR 的结构第46-47页
     ·NMDDSCR 的测试分析第47-48页
   ·PMOS 触发的 DDSCR 的设计与分析第48-49页
     ·PMDDSCR 的结构第48-49页
     ·PMDDSCR 的测试分析第49页
   ·本章小结第49-52页
第五章 总结与展望第52-54页
   ·总结第52页
   ·展望第52-54页
致谢第54-55页
参考文献第55-60页
附录:作者在攻读硕士学位期间发表的论文第60页

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