| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-21页 |
| ·研究背景 | 第8-9页 |
| ·ZnO的性质与应用 | 第9-15页 |
| ·p型ZnO的研究现状 | 第15-18页 |
| ·连续离子层吸附反应法制备ZnO薄膜的研究现状 | 第18-20页 |
| ·论文主要内容 | 第20-21页 |
| 2 ZnO薄膜的连续离子层吸附反应法制备 | 第21-34页 |
| ·连续离子层吸附反应法制备ZnO薄膜的反应原理 | 第21-22页 |
| ·连续离子层吸附反应法制备ZnO薄膜的生长机理 | 第22-25页 |
| ·连续离子层吸附反应法制备ZnO薄膜的实验过程 | 第25-29页 |
| ·影响ZnO薄膜质量的因素 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 3 ZnO薄膜的性质与分析 | 第34-53页 |
| ·实验设计 | 第34-36页 |
| ·实验中薄膜的表征手段 | 第36-38页 |
| ·实验结果与分析 | 第38-50页 |
| ·p型ZnO形成机理探讨 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 4 结论与展望 | 第53-55页 |
| ·主要结论 | 第53-54页 |
| ·展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |