基于QD的位移测量系统误差校正方法研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| ·课题的背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-12页 |
| ·位移测量技术的发展现状 | 第10-11页 |
| ·QD的应用及发展现状 | 第11-12页 |
| ·课题来源及本文主要内容 | 第12-14页 |
| 第2章 应用QD测量位移的原理 | 第14-28页 |
| ·QD的物理效应 | 第14-17页 |
| ·QD测量光斑位移的原理 | 第17-22页 |
| ·光斑位移的测量原理 | 第17-18页 |
| ·通用定位算法 | 第18-20页 |
| ·本课题使用的光斑定位算法 | 第20-22页 |
| ·QD测量角位移和线位移的原理 | 第22-25页 |
| ·角位移的测量原理 | 第23-24页 |
| ·线位移的测量原理 | 第24-25页 |
| ·位移测量系统结构及项目指标要求 | 第25-27页 |
| ·位移测量系统结构及功能 | 第25-27页 |
| ·项目指标要求 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 精度影响因素及校正方法 | 第28-38页 |
| ·干扰 | 第28-32页 |
| ·系统内部噪声 | 第28-29页 |
| ·背景光 | 第29页 |
| ·干扰信号对精度的影响 | 第29-30页 |
| ·干扰的去除方法 | 第30-32页 |
| ·不均匀性的补偿校正 | 第32-37页 |
| ·均匀度的定义 | 第32-33页 |
| ·不均匀性测量实验 | 第33-34页 |
| ·不均匀性补偿校正方法 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 位移测量实验及其结果分析 | 第38-46页 |
| ·实验平台的搭建 | 第38-40页 |
| ·实验原理及方法 | 第40-42页 |
| ·实验原理 | 第40-41页 |
| ·实验方法 | 第41-42页 |
| ·实验结果分析 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 系统性能指标测试 | 第46-53页 |
| ·光斑位移的测量精度 | 第46-49页 |
| ·测量范围 | 第49-52页 |
| ·光斑位移的测量范围 | 第49-50页 |
| ·频率的测量范围 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 研究生履历 | 第58-59页 |
