晶圆预对准系统的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·课题的研究目的和意义 | 第10页 |
| ·晶圆预对准系统概述 | 第10-13页 |
| ·国内外晶圆预对准装置发展现状及分析 | 第13-17页 |
| ·国外晶圆预对准装置发展现状及分析 | 第13-15页 |
| ·国内晶圆预对准装置发展现状及分析 | 第15-16页 |
| ·国内外晶圆预对准装置发展趋势 | 第16-17页 |
| ·课题来源与主要研究内容 | 第17-18页 |
| ·课题来源 | 第17页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第17页 |
| ·技术指标 | 第17-18页 |
| 第2章 晶圆预对准系统的总体方案与结构设计 | 第18-34页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·晶圆预对准方案的确定 | 第18-22页 |
| ·Θ-X-Y型与Θ-R型预对准方案的精度分析 | 第18-21页 |
| ·预对准方案的比较与确定 | 第21-22页 |
| ·晶圆预对准系统组成、功能及流程 | 第22页 |
| ·精密定位系统 | 第22-25页 |
| ·系统误差初始分配及执行元件选择指标 | 第23页 |
| ·执行元件的选择 | 第23-25页 |
| ·检测系统 | 第25-26页 |
| ·真空吸附系统 | 第26-29页 |
| ·真空压控制元件的比较与选择 | 第27页 |
| ·吸附晶圆所需真空压的计算 | 第27-28页 |
| ·真空吸附系统组件选择 | 第28-29页 |
| ·机械结构设计 | 第29-32页 |
| ·真空吸头设计 | 第29-30页 |
| ·圆光栅安装座设计 | 第30-31页 |
| ·电气安装板设计 | 第31-32页 |
| ·晶圆预对准系统的建立 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 晶圆预对准系统控制器的设计 | 第34-46页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·系统控制任务分析 | 第34-35页 |
| ·预对准控制器的总体结构设计 | 第35-37页 |
| ·控制器主核芯片的选择 | 第35-36页 |
| ·控制器总体结构设计 | 第36-37页 |
| ·预对准控制器硬件电路设计 | 第37-41页 |
| ·控制器主核外围电路设计 | 第37页 |
| ·步进电机控制电路设计 | 第37-38页 |
| ·直流电机控制电路设计 | 第38页 |
| ·真空气路控制电路设计 | 第38-40页 |
| ·CCD测微仪串口通讯接口电路设计 | 第40页 |
| ·控制器的电源设计 | 第40-41页 |
| ·控制器PCB设计 | 第41页 |
| ·硬件电路相关控制程序的设计 | 第41-45页 |
| ·步进脉冲信号产生及零位信号检测 | 第42页 |
| ·D/A芯片控制信号产生与位移反馈信号处理 | 第42-43页 |
| ·旋转单元闭环控制 | 第43-44页 |
| ·CCD测微仪读数采集与处理 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 晶圆预对准算法的研究 | 第46-61页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·圆心定位算法的研究 | 第46-50页 |
| ·LLS算法 | 第46-48页 |
| ·LLS算法精度的分析 | 第48-49页 |
| ·LLS算法效率的改进 | 第49-50页 |
| ·基于LLS算法的圆心定位算法程序流程图 | 第50页 |
| ·缺口定位算法的研究 | 第50-59页 |
| ·缺口检测 | 第51-52页 |
| ·缺口拟合 | 第52-56页 |
| ·缺口定位计算 | 第56-58页 |
| ·缺口定位后圆心位置的虚拟校正 | 第58-59页 |
| ·晶圆预对准主程序流程 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第5章 晶圆预对准系统精度分析与实验研究 | 第61-69页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·晶圆预对准系统的精度分析 | 第61-65页 |
| ·运动误差 | 第61页 |
| ·结构误差 | 第61-63页 |
| ·检测误差 | 第63-64页 |
| ·计算误差 | 第64-65页 |
| ·晶圆预对准实验 | 第65-68页 |
| ·改进后LLS算法的效率测试及结果分析 | 第65页 |
| ·晶圆预对准实验 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 附录1 | 第73-76页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
