硅芯炉控制系统的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-11页 |
| ·硅材料市场需求现状 | 第8页 |
| ·硅芯炉设备研究意义及研究现状 | 第8-9页 |
| ·课题任务及主要内容 | 第9-11页 |
| 2 硅芯炉的总体方案构建 | 第11-20页 |
| ·硅芯炉的工艺原理与技术要求 | 第11-12页 |
| ·硅芯棒的生长原理与工作过程 | 第11-12页 |
| ·硅芯炉设计生产能力及外部条件 | 第12页 |
| ·硅芯炉机械传动技术参数 | 第12页 |
| ·硅芯炉结构及工作原理 | 第12-15页 |
| ·设备系统的晶体生长工艺 | 第15-16页 |
| ·系统运行控制方案的分析与确立 | 第16-18页 |
| ·上提拉部分运动控制方案的分析 | 第16-17页 |
| ·下传动部分运动控制方案的分析 | 第17-18页 |
| ·籽晶托盘驱动机构 | 第18页 |
| ·系统运行方案总体概述 | 第18-20页 |
| 3 慢速速度系统 | 第20-28页 |
| ·慢速速度的设计要求 | 第20页 |
| ·速度闭环控制基本原理 | 第20-23页 |
| ·上轴慢速速度系统设计方案 | 第23-25页 |
| ·信号处理电路 | 第25-27页 |
| ·速度设定信号处理 | 第25-26页 |
| ·窗口比较电路 | 第26-27页 |
| ·下轴旋转速度控制系统和下轴慢速速度控制系统 | 第27-28页 |
| 4 快速速度系统 | 第28-35页 |
| ·快速速度的设计要求 | 第28页 |
| ·快速系统基本方案 | 第28-29页 |
| ·快速系统对功率电源的要求及电源设计 | 第29-33页 |
| ·快速系统 | 第33-35页 |
| 5 籽晶托盘控制系统 | 第35-56页 |
| ·籽晶托盘控制系统的设计要求 | 第35页 |
| ·分析系统的设计精度 | 第35-38页 |
| ·籽晶托盘机构及其工艺流程 | 第35-37页 |
| ·运动执行机构 | 第37页 |
| ·分析设计精度 | 第37-38页 |
| ·控制系统电气部分 | 第38-47页 |
| ·控制系统的操作要求 | 第38-39页 |
| ·人机交互的接口电路的设计 | 第39页 |
| ·单片机与键盘的接口电路 | 第39-41页 |
| ·单片机与 LED的接口电路 | 第41-42页 |
| ·电源设计 | 第42-45页 |
| ·系统硬件电路抗干扰设计 | 第45-47页 |
| ·籽晶托盘控制系统软件设计 | 第47-54页 |
| ·AT89S8252的软件编程特点及设计要求 | 第47-48页 |
| ·设备控制软件的主程序 | 第48-51页 |
| ·中断服务定时子程序 | 第51-52页 |
| ·LED显示子程序设计 | 第52-54页 |
| ·系统设备软件抗干扰设计 | 第54-56页 |
| 6 设备运行结果及精度分析 | 第56-62页 |
| ·上轴慢速速度系统精度分析 | 第56-57页 |
| ·精确度检测 | 第56页 |
| ·稳定度检测 | 第56-57页 |
| ·下轴慢速速度系统精度分析 | 第57-59页 |
| ·精确度检测 | 第57-58页 |
| ·稳定度检测 | 第58-59页 |
| ·下轴转速速度系统精度分析 | 第59-60页 |
| ·精确度检测 | 第59页 |
| ·稳定度检测 | 第59-60页 |
| ·籽晶托盘控制系统性能的检测 | 第60页 |
| ·设备其它性能的检测 | 第60页 |
| ·关于设备改进的设想 | 第60-62页 |
| 总结及展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 附录 A | 第66-72页 |
| 附录 B | 第72页 |
