| 中文摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-12页 |
| 第一章 引言 | 第12-38页 |
| ·流体测量与流体主动控制技术 | 第12-19页 |
| ·基于MEMS技术的流体测量与流体主动控制技术的研究进展 | 第19-32页 |
| ·国外研究现状及其分析 | 第19-32页 |
| ·国内研究现状及其分析 | 第32页 |
| ·本课题的意义及研究目标 | 第32-33页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第33-34页 |
| 参考文献 | 第34-38页 |
| 第二章 微型热剪切应力传感器和微型振动射流执行器的测量和控制原理 | 第38-49页 |
| ·基于热敏电阻的微型热剪切应力传感器的测量原理 | 第38-42页 |
| ·微型振动射流执行器的壁面减阻原理和驱动原理 | 第42-46页 |
| ·微型振动射流执行器在飞行器壁面减阻应用中的控制原理 | 第42-44页 |
| ·基于静电驱动的微型振动射流执行器的驱动原理 | 第44-46页 |
| ·微传感器，微执行器和控制电路组成的飞行器壁面减阻控制系统 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 第三章 微型热剪切应力传感器的设计、制作与测试 | 第49-76页 |
| ·微型热剪切应力传感器的设计 | 第49-60页 |
| ·传感器的结构设计与仿真 | 第49-54页 |
| ·传感器材料的选择 | 第54-60页 |
| ·热敏元件材料 | 第54-60页 |
| ·绝热空腔横隔膜材料 | 第60页 |
| ·微型热剪切应力传感器的制作工艺 | 第60-68页 |
| ·传感器制作关键工艺研究 | 第60-66页 |
| ·低应力SiN_x薄膜的应力控制 | 第60-63页 |
| ·体硅腐蚀工艺 | 第63-65页 |
| ·Crystalbond 59芯片正面保护工艺研究 | 第65-66页 |
| ·传感器制作工艺流程 | 第66-68页 |
| ·微型热剪切应力传感器的测试 | 第68-74页 |
| ·温度电阻系数 | 第68-69页 |
| ·绝热性能测试 | 第69-72页 |
| ·响应频率和时间常数 | 第72-73页 |
| ·风洞实验 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 第四章 微型振动射流执行器的设计、制作和测试 | 第76-89页 |
| ·微型振动射流执行器的结构设计 | 第76-82页 |
| ·执行器的设计和仿真 | 第76-82页 |
| ·执行器材料的选择 | 第82页 |
| ·微型振动射流执行器的制作工艺 | 第82-85页 |
| ·执行器制作关键工艺研究 | 第82-83页 |
| ·执行器制作工艺流程 | 第83-85页 |
| ·微型振动射流执行器的测试 | 第85-88页 |
| ·外加电压下执行器振动片的偏移位移 | 第85-86页 |
| ·显微镜下拍摄到的执行器一个周期内的上下振动 | 第86-87页 |
| ·后续工作 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-89页 |
| 第五章 结论 | 第89-91页 |
| ·结论 | 第89-90页 |
| ·后续工作 | 第90-91页 |
| 致谢 | 第91-93页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文和所受奖励 | 第93-94页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第94页 |
