| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| ·纳米定位技术的研究内容和现状 | 第7-12页 |
| ·STM 仪器与隧道效应 | 第12-14页 |
| ·本课题研究的内容和意义 | 第14-16页 |
| 第二章 反馈控制系统的整体构建 | 第16-24页 |
| ·测头部分 | 第17-19页 |
| ·微位移驱动装置 | 第19-21页 |
| ·控制执行装置 | 第21-23页 |
| ·信号采集及反馈控制硬件和软件 | 第23-24页 |
| 第三章 控制模型和算法的研究 | 第24-37页 |
| ·控制模型的建立 | 第24-26页 |
| ·PID 控制思想 | 第26-31页 |
| ·针对压电元件的控制方法 | 第31-37页 |
| 第四章 反馈控制电路的硬件和软件设计 | 第37-56页 |
| ·控制系统硬件的设计 | 第37-48页 |
| ·控制系统的软件部分 | 第48-56页 |
| 第五章 实验及数据处理 | 第56-75页 |
| ·系统硬件调试 | 第56-60页 |
| ·积分分离式PI 控制算法的分析 | 第60-65页 |
| ·试验系统的搭建 | 第65-70页 |
| ·反馈控制系统实验 | 第70-75页 |
| 第六章 总结和展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |