| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·硅微加速度传感器国内外研究现状 | 第8-11页 |
| ·硅微电容式加速度传感器信号检测电路的国外研究现状 | 第11-14页 |
| ·硅微电容式加速度传感器信号检测电路的国内研究现状 | 第14-15页 |
| ·本论文研究意义及研究的主要内容 | 第15-17页 |
| 2 硅微电容式加速度传感器的结构和工作原理 | 第17-28页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·传感器的工作原理和结构 | 第17-24页 |
| ·工作原理 | 第17-19页 |
| ·基本结构 | 第19-24页 |
| ·频率特性分析 | 第24-28页 |
| 3 检测电路方案研究 | 第28-35页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·检测电路原理 | 第28-35页 |
| ·闭环检测原理 | 第28-34页 |
| ·开环检测原理 | 第34-35页 |
| 4 加速度计检测集成电路的设计 | 第35-51页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·检测集成电路原理分析 | 第35-36页 |
| ·单元电路分析设计和仿真 | 第36-48页 |
| ·脉冲产生电路 | 第36-40页 |
| ·缓冲放大器 | 第40-41页 |
| ·电压基准源 | 第41-43页 |
| ·开关电容解调滤波电路 | 第43-47页 |
| ·基准电流源和自检电路 | 第47-48页 |
| ·系统电路仿真 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 检测集成电路的版图设计及优化 | 第51-69页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·工艺介绍 | 第51-57页 |
| ·集成电路制造工艺 | 第51-52页 |
| ·BiCMOS 工艺 | 第52-57页 |
| ·设计规则 | 第57-59页 |
| ·版图设计步骤 | 第59-60页 |
| ·版图设计中的匹配 | 第60-64页 |
| ·根器件法 | 第60-61页 |
| ·交叉法 | 第61-62页 |
| ·虚拟器件法 | 第62-63页 |
| ·共心法 | 第63-64页 |
| ·匹配信号路径 | 第64页 |
| ·静电保护 | 第64-66页 |
| ·版图验证 | 第66-67页 |
| ·整体版图设计 | 第67-69页 |
| 6 总结与展望 | 第69-71页 |
| ·总结 | 第69页 |
| ·展望 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 附录 | 第75页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第75页 |