| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 光栅位移测量系统的研究现状与趋势 | 第10-17页 |
| 1.2.1 单光栅测量系统 | 第11-15页 |
| 1.2.2 双光栅测量系统 | 第15-16页 |
| 1.2.3 光栅位移测量系统的发展趋势 | 第16-17页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 光栅位移测量系统的测量原理 | 第18-29页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 一维光栅衍射场分布 | 第18-20页 |
| 2.2.1 一维光栅的衍射特性分析 | 第18-19页 |
| 2.2.2 波动光学分析 | 第19-20页 |
| 2.3 光栅位移测量基本原理 | 第20-24页 |
| 2.3.1 衍射干涉原理 | 第20-22页 |
| 2.3.2 多普勒频移分析 | 第22-24页 |
| 2.4 偏振光学理论 | 第24-28页 |
| 2.4.1 偏振光的琼斯矩阵表示 | 第24-26页 |
| 2.4.2 偏振器件的琼斯矩阵表示 | 第26-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 光栅位移传感器设计与分析 | 第29-38页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 光栅位移传感器设计及理论模型分析 | 第29-33页 |
| 3.2.1 光栅位移传感器设计 | 第30-31页 |
| 3.2.2 琼斯矩阵分析 | 第31-33页 |
| 3.3 关键关学元件选取 | 第33-36页 |
| 3.3.1 光栅的选取 | 第33-34页 |
| 3.3.2 光电转换器件的选取及 I-V 转换电路的设计 | 第34-35页 |
| 3.3.3 其他光学元件的选取 | 第35-36页 |
| 3.4 系统机械结构设计 | 第36-37页 |
| 3.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 光栅位移测量系统非线性误差分析及改进 | 第38-48页 |
| 4.1 引言 | 第38页 |
| 4.2 系统误差来源分析 | 第38页 |
| 4.3 光栅引入的误差 | 第38-39页 |
| 4.3.1 周期误差分析 | 第38-39页 |
| 4.3.2 累积误差分析 | 第39页 |
| 4.4 激光光源误差分析 | 第39-41页 |
| 4.5 光路对位误差分析 | 第41-45页 |
| 4.5.1 光栅与光学传感器对位误差分析 | 第41-43页 |
| 4.5.2 Q1、Q2 不良对位分析 | 第43-44页 |
| 4.5.3 Q3 不良对位分析 | 第44-45页 |
| 4.6 电路引入的误差 | 第45-46页 |
| 4.6.1 光电转换的误差 | 第46页 |
| 4.6.2 计数细分误差 | 第46页 |
| 4.7 测量环境引入的误差分析 | 第46-47页 |
| 4.8 本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 光栅位移测量系统实验分析 | 第48-62页 |
| 5.1 引言 | 第48页 |
| 5.2 测量系统介绍 | 第48-49页 |
| 5.3 光栅位移传感器功能测试 | 第49-50页 |
| 5.4 调理电路板设计及功能测试实验 | 第50-55页 |
| 5.4.1 信号误差对测量精度的影响 | 第50-52页 |
| 5.4.2 信号的调理及误差的补偿 | 第52-55页 |
| 5.5 信号处理电路设计及功能测试实验 | 第55-58页 |
| 5.6 系统整体性能测试 | 第58-61页 |
| 5.7 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 致谢 | 第68页 |