| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 极紫外光刻技术的研究进展 | 第11-13页 |
| 1.3 极紫外光刻光源的研究进展 | 第13-18页 |
| 1.3.1 激光等离子体极紫外光刻光源的研究进展 | 第13-14页 |
| 1.3.2 毛细管放电等离子体极紫外光刻光源的研究进展 | 第14-16页 |
| 1.3.3 激光辅助放电等离子体极紫外光刻光源的研究进展 | 第16-18页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 Sn 等离子体极紫外辐射及等离子体诊断理论 | 第20-31页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 Sn 等离子体极紫外辐射理论 | 第20-26页 |
| 2.2.1 Sn 等离子体极紫外辐射来源 | 第20-21页 |
| 2.2.2 Sn 离子能级参数计算 | 第21-25页 |
| 2.2.3 Sn 等离子体的 Z 箍缩 | 第25-26页 |
| 2.3 等离子体诊断理论 | 第26-30页 |
| 2.3.1 等离子体基本理论 | 第26-27页 |
| 2.3.2 Boltzmann 法计算电子温度 | 第27-29页 |
| 2.3.3 Stark 展宽法计算电子密度 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 Sn 初始等离子体物理状态研究 | 第31-45页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 激光能量对 Sn 等离子体物理状态的影响 | 第31-37页 |
| 3.2.1 实验装置及方法介绍 | 第31-33页 |
| 3.2.2 大气环境中激光能量对 Sn 等离子体物理状态的影响 | 第33-35页 |
| 3.2.3 真空环境中激光能量对 Sn 等离子体物理状态的影响 | 第35-37页 |
| 3.3 不同延时条件下 Sn 等离子体物理状态的研究 | 第37-43页 |
| 3.3.1 实验装置及方法介绍 | 第37-39页 |
| 3.3.2 大气环境中不同延时条件下等离子体物理状态的研究 | 第39-41页 |
| 3.3.3 真空环境中不同延时条件下对 Sn 等离子体物理状态的研究 | 第41-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-45页 |
| 第4章 Sn 等离子体 13.5nm 极紫外辐射研究 | 第45-62页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 LDP 极紫外光刻光源装置介绍 | 第45-52页 |
| 4.2.1 电源系统 | 第46-47页 |
| 4.2.2 激光系统 | 第47-48页 |
| 4.2.3 控制及延时系统 | 第48-50页 |
| 4.2.4 放电系统的改造 | 第50-51页 |
| 4.2.5 探测系统 | 第51-52页 |
| 4.3 Sn 等离子体 13.5nm 极紫外辐射的产生 | 第52-56页 |
| 4.4 激光与主脉冲延时对 13.5nm 极紫外辐射的影响 | 第56-59页 |
| 4.5 激光能量对 13.5nm 极紫外辐射的影响 | 第59-61页 |
| 4.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
