基于MEMS的压力传感器研制
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 MEMS技术的概述 | 第9-11页 |
| 1.1.1 半导体压阻效应 | 第9-10页 |
| 1.1.2 MEMS技术简介 | 第10-11页 |
| 1.1.3 MEMS技术的应用 | 第11页 |
| 1.2 MEMS压力传感器 | 第11-15页 |
| 1.2.1 MEMS压力传感器工作原理及特点 | 第11-14页 |
| 1.2.2 国内外MEMS压力传感器发展状况 | 第14-15页 |
| 1.3 研究意义 | 第15-16页 |
| 1.3.1 机械式压力传感器的缺陷 | 第15-16页 |
| 1.3.2 研制MEMS压力传感器的必要性 | 第16页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 机油压力传感器总体方案与硬件设计 | 第18-31页 |
| 2.1 机油压力传感器的主要性能和技术指标 | 第18-20页 |
| 2.1.1 性能参数和技术要求 | 第18-19页 |
| 2.1.2 设计理念和主要特点 | 第19-20页 |
| 2.2 MEMS压力传感器总体设计 | 第20-23页 |
| 2.2.1 总体方案设计 | 第20-22页 |
| 2.2.2 二线制原理 | 第22页 |
| 2.2.3 结构方案设计 | 第22-23页 |
| 2.3 电路设计 | 第23-26页 |
| 2.3.1 硬件设计 | 第23-24页 |
| 2.3.2 传感器的二线制电路 | 第24页 |
| 2.3.3 通讯电路设计 | 第24-25页 |
| 2.3.4 PCB板设计 | 第25-26页 |
| 2.4 关键器件选型 | 第26-30页 |
| 2.4.1 MEMS压阻芯片的选型 | 第26-27页 |
| 2.4.2 温度采样芯片的选型 | 第27-28页 |
| 2.4.3 单片机芯片选型 | 第28-29页 |
| 2.4.4 放大电路电子元件选型 | 第29-30页 |
| 2.4.5 其他电子元件选型 | 第30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 传感器的补偿方法和标定研究 | 第31-57页 |
| 3.1 传感器温度漂移原因分析 | 第31-37页 |
| 3.1.1 零点温度漂移的产生 | 第31-35页 |
| 3.1.2 灵敏度温度漂移的产生 | 第35-37页 |
| 3.2 常规的传感器温度补偿方法 | 第37-46页 |
| 3.2.1 灵敏度温度漂移补偿 | 第37-38页 |
| 3.2.2 零点温度漂移补偿概述 | 第38页 |
| 3.2.3 硬件温度补偿方式概述 | 第38-40页 |
| 3.2.4 软件温度补偿方式概述 | 第40-43页 |
| 3.2.5 硬件温度补偿方式的比较和分析 | 第43-45页 |
| 3.2.6 软件温度补偿算法比较分析 | 第45-46页 |
| 3.3 传感器温度补偿方案确定 | 第46-50页 |
| 3.3.1 温度补偿过程流程分析 | 第46-47页 |
| 3.3.2 温度补偿算法设计 | 第47-50页 |
| 3.3.3 温度补偿算法分析 | 第50页 |
| 3.4 传感器的标定 | 第50-56页 |
| 3.4.1 传感器标定原因 | 第50-51页 |
| 3.4.2 标定方法概述 | 第51-52页 |
| 3.4.3 标定需求和设备及工装设计 | 第52-54页 |
| 3.4.4 标定过程流程图 | 第54-56页 |
| 3.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 试验数据分析 | 第57-73页 |
| 4.1 传感器的试验方案设计和测试台架构建 | 第57-60页 |
| 4.1.1 传感器的试验内容 | 第57-58页 |
| 4.1.2 传感器的试验设备和测试台架 | 第58-60页 |
| 4.2 传感器例行试验数据分析 | 第60-65页 |
| 4.2.1 传感器例行试验数据 | 第60-61页 |
| 4.2.2 传感器重复性误差和迟滞性误差计算 | 第61-63页 |
| 4.2.3 传感器灵敏度计算 | 第63-65页 |
| 4.3 传感器温度试验数据分析 | 第65-68页 |
| 4.3.1 高低温试验数据 | 第65-66页 |
| 4.3.2 传感器线性度分析 | 第66页 |
| 4.3.3 传感器零点温度漂移系数计算 | 第66-67页 |
| 4.3.4 传感器温度灵敏度漂移系数计算 | 第67页 |
| 4.3.5 传感器输出数据统计过程控制分析 | 第67-68页 |
| 4.4 传感器耐久老化试验数据分析 | 第68-72页 |
| 4.4.1 传感器耐久老化试验数据 | 第68-70页 |
| 4.4.2 传感器耐久老化试验结果分析 | 第70-72页 |
| 4.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 总结与展望 | 第73-75页 |
| 5.1 总结 | 第73页 |
| 5.2 本文的归纳和展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第79-81页 |
