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半导体金属氧化物传感器的制备与性能研究

摘要第6-7页
Abstract第7-8页
第1章 绪论第11-31页
    1.1 研究背景及意义第11页
    1.2 金属氧化物半导体传感器第11-15页
        1.2.1 半导体金属氧化物气体传感器概述第11-13页
        1.2.2 气体传感器的气敏机理第13-14页
        1.2.3 气体传感器的应用第14-15页
    1.3 半导体金属氧化物传感器的气敏性能研究第15-29页
        1.3.1 半导体金属氧化物气敏传感器对VOCs检测的研究现状第15-21页
        1.3.2 半导体金属氧化物传感器对有害气体的检测研究现状第21-24页
        1.3.3 纳米材料的形貌对气敏性能的影响第24-27页
        1.3.4 多组分复合纳米材料对气敏性能的影响第27-29页
    1.4 本文主要的研究目的及内容第29-31页
        1.4.1 本论文的主要研究目的第29页
        1.4.2 本论文的主要研究内容第29-31页
第2章 Co_3O_4-SnO_2复合物的制备及其气敏性能的研究第31-43页
    2.1 引言第31-32页
    2.2 实验部分第32-34页
        2.2.1 实验试剂与仪器第32页
        2.2.2 材料的制备第32页
        2.2.3 合成材料结构的表征第32-33页
        2.2.4 气体传感器的制作及测试第33-34页
    2.3 结果分析与讨论第34-41页
        2.3.1 Co_3O_4/SnO_2复合材料的结构和形貌表征第34-37页
        2.3.2 Co_3O_4/SnO_2复合物材料的气敏性能研究第37-39页
        2.3.3 气敏机理第39-41页
    2.4 本章小结第41-43页
第3章 不同形貌的磷酸银纳米材料的气敏性研究第43-50页
    3.1 引言第43页
    3.2 试验结果与分析第43-45页
        3.2.1 固相研磨法制备Ag_3PO_4纳米颗粒第43-44页
        3.2.2 离子交换法制备Ag_3PO_4纳米管第44页
        3.2.3 Ag_3PO_4材料结构的表征第44页
        3.2.4 气体传感器的制作及测试第44-45页
    3.3 结果分析与讨论第45-49页
        3.3.1 Ag_3PO_4材料结构和形貌特征第45-46页
        3.3.2 气敏性能研究第46-49页
    3.4 本章小结第49-50页
结论与展望第50-51页
致谢第51-52页
参考文献第52-60页
攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果第60页

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