| 中文摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-29页 |
| ·多晶硅薄膜材料研究现状 | 第11-17页 |
| ·多晶硅薄膜材料国内研究现状 | 第11-14页 |
| ·多晶硅薄膜材料国外研究现状 | 第14-17页 |
| ·多晶硅压力传感器研究现状 | 第17-21页 |
| ·多晶硅压力传感器国内研究现状 | 第17-18页 |
| ·多晶硅压力传感器国外研究现状 | 第18-21页 |
| ·新型压力传感器研究现状 | 第21-26页 |
| ·新型压力传感器国内研究现状 | 第21-24页 |
| ·新型压力传感器国外研究现状 | 第24-26页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器研究目的和研究意义 | 第26-27页 |
| ·研究目的 | 第26-27页 |
| ·研究意义 | 第27页 |
| ·论文主要研究内容 | 第27-29页 |
| 第2章 纳米多晶硅薄膜制备及特性研究 | 第29-37页 |
| ·纳米多晶硅薄膜制备 | 第29-30页 |
| ·纳米多晶硅薄膜微结构特性研究 | 第30-36页 |
| ·XRD 测试 | 第30-34页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM）分析 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 纳米多晶硅薄膜压力传感器基本结构与工作原理 | 第37-43页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器基本结构 | 第37-38页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器工作原理 | 第38-42页 |
| ·压阻效应 | 第38-40页 |
| ·压敏结构工作原理 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 纳米多晶硅薄膜压力传感器仿真分析 | 第43-58页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器硅膜特性分析 | 第43-55页 |
| ·不同形状硅膜应力分析 | 第43-51页 |
| ·压力传感器硅杯结构模型仿真分析 | 第51-55页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器电阻布局分析 | 第55-56页 |
| ·纳米多晶硅薄膜承载能力分析 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 纳米多晶硅薄膜压力传感器结构设计与制作工艺的研究 | 第58-67页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器结构设计 | 第58-62页 |
| ·硅杯结构设计 | 第59-60页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压敏电阻分布位置设计 | 第60-62页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器制作工艺 | 第62-63页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器版图设计 | 第63-64页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器芯片封装 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第6章 实验结果与讨论 | 第67-102页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压敏电阻 I-V 特性 | 第67-70页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器压敏特性 | 第70-77页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压敏电阻尺寸及分布位置对压敏特性的影响 | 第70-75页 |
| ·纳米多晶硅薄膜厚度对压敏特性的影响 | 第75-76页 |
| ·硅膜厚度对压敏特性的影响 | 第76-77页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器静态特性 | 第77-100页 |
| ·线性度 | 第77-93页 |
| ·重复性 | 第93-94页 |
| ·迟滞 | 第94-96页 |
| ·准确度 | 第96-97页 |
| ·灵敏度 | 第97-98页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器温度特性 | 第98-100页 |
| ·本章小结 | 第100-102页 |
| 结论 | 第102-104页 |
| 参考文献 | 第104-111页 |
| 致谢 | 第111-112页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第112页 |
| 攻读学位期间科研项目 | 第112页 |
