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Fe、Co、Ni、Mn钝化多孔硅的制备、表面形貌和光致发光研究

中文摘要第1-6页
英文摘要第6-8页
第一章 引言第8-35页
 1.1 多孔硅的历史、背景及应用前景第8-10页
 1.2 多孔硅的研究现状第10-26页
  1.2.1 多孔硅的制备方法第10-12页
  1.2.2 多孔硅的表面钝化技术第12-15页
  1.2.3 多孔硅的后处理技术第15页
  1.2.4 多孔硅的形成第15-20页
  1.2.5 多孔硅的结构第20-21页
  1.2.6 多孔硅的光致发光第21-24页
  1.2.7 多孔硅技术应用中存在的问题及开题思想第24-26页
 第一章参考文献第26-35页
第二章 金属钝化多孔硅的制备、表面形貌和发光特性第35-59页
 2.1 金属钝化多孔硅概念的提出第35-36页
 2.2 金属钝化多孔硅的制备第36-37页
 2.3 金属钝化多孔硅的表面形貌和发光特性第37-56页
  2.3.1 Ni钝化多孔硅的表面形貌和发光特性第37-43页
  2.3.2 Mn钝化多孔硅的表面形貌和发光特性第43-46页
  2.3.3 Co钝化多孔硅的表面形貌和发光特性第46-51页
  2.3.4 Fe钝化多孔硅的表面形貌和发光特性第51-56页
 2.4 小结第56-58页
 第二章参考文献第58-59页
第三章 水热腐蚀制备氢钝化多孔硅的研究第59-75页
 3.1 用(111)取向的硅片制备的氢钝化多孔硅表面形貌和发光第59-66页
 3.2 用(100)取向的硅片制备的氢钝化多孔硅表面相貌和发光第66-68页
 3.3 蓝光发射多孔硅RTO过程中尺寸分离效应第68-73页
 3.4 小结第73-74页
 第三章参考文献第74-75页
第四章 结论第75-77页
附录: 在攻读硕士学位期间发表的论文第77-78页
致谢第78页

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