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工艺参数扰动的仿真研究

摘要第1-4页
Abstract第4-5页
引言第5-6页
第一章 硅片参数的扰动第6-14页
   ·130nm以下工艺中硅片良率的下降第6-7页
   ·几个基本概念wafer、chip、lot第7页
   ·晶片级别的工艺扰动第7-8页
   ·掩膜扰动第8-9页
   ·局部扰动第9-12页
   ·不同工艺水平下扰动的对比第12-13页
   ·良率的提升第13-14页
第二章 概率分布和采样第14-19页
   ·概率、概率密度、期望、方差第14页
   ·概率分布第14-17页
   ·几种采样方法第17-19页
第三章 仿真工具中的蒙特卡罗分析与DCmatch分析第19-26页
   ·蒙特卡罗第19-20页
   ·Mismatch第20-21页
   ·仿真工具中的盟特卡罗分析第21-22页
   ·仿真工具中的mismatch分析第22-26页
第四章 蒙特卡罗和DCmatch分析的接口程序第26-39页
   ·应用背景和要求第26页
   ·接口程序支持的MOS管类型列表第26-27页
   ·以leve149(Bsim3v3)为例,介绍接口程序支持的模型参数第27-28页
   ·接口程序第28-39页
第五章 集成运放参数扰动的研究第39-49页
   ·短沟效应第39-40页
   ·短沟效应阂值电压的仿真验证第40-42页
   ·参数扰动对于集成运放的影响及改进意见第42-49页
参考文献第49-50页
致谢第50-51页

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