晶圆传输机器人鲁棒控制技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状及分析 | 第11-19页 |
| ·机器人直接驱动技术综述 | 第11-13页 |
| ·机器人鲁棒控制的研究现状 | 第13-17页 |
| ·运动控制器的国内外研究现状及分析 | 第17-19页 |
| ·主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 晶圆传输机器人建模分析 | 第21-33页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·直驱型晶圆传输机器人分析 | 第21-23页 |
| ·晶圆传输机器人结构分析 | 第21-23页 |
| ·晶圆传输机器人建模分析 | 第23页 |
| ·R-T 型晶圆传输机器人结构分析 | 第23-26页 |
| ·R-T 型晶圆传输机器人建模分析 | 第26-31页 |
| ·运动学建模 | 第26-27页 |
| ·动力学建模 | 第27-31页 |
| ·电机误差对末端手精度的影响分析 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 晶圆传输机器人鲁棒控制算法研究 | 第33-49页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·晶圆传输机器人计算力矩控制方法研究 | 第33-38页 |
| ·PD 加前馈控制 | 第33-35页 |
| ·计算力矩控制 | 第35-38页 |
| ·晶圆传输机器人鲁棒控制器设计 | 第38-44页 |
| ·鲁棒控制原理 | 第38-39页 |
| ·基于PD 加前馈的鲁棒控制器设计 | 第39-41页 |
| ·基于计算力矩法的鲁棒控制器设计 | 第41-42页 |
| ·鲁棒控制器参数确定 | 第42-44页 |
| ·控制算法仿真 | 第44-48页 |
| ·轨迹规划 | 第44页 |
| ·T 轴鲁棒控制仿真 | 第44-46页 |
| ·R 轴鲁棒控制仿真 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 晶圆传输机器人控制系统设计 | 第49-61页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·机器人运动控制系统 | 第49-50页 |
| ·控制系统的整体结构 | 第49-50页 |
| ·直接驱动电机的选取 | 第50页 |
| ·控制系统硬件设计 | 第50-56页 |
| ·控制系统电源设计 | 第51-52页 |
| ·DSP 供电系统 | 第52页 |
| ·DSP 复位系统 | 第52-53页 |
| ·SCI 通信模块 | 第53页 |
| ·高速光耦接口 | 第53-54页 |
| ·DA 转换模块 | 第54-56页 |
| ·控制系统PCB 板设计 | 第56页 |
| ·控制系统的软件设计 | 第56-60页 |
| ·软件系统结构 | 第57-58页 |
| ·编码器反馈处理程序 | 第58-59页 |
| ·控制算法软件设计 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第5章 晶圆传输机器人实验研究 | 第61-68页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·实验系统建立 | 第61页 |
| ·动力学参数辨识实验 | 第61-64页 |
| ·鲁棒补偿控制实验 | 第64-67页 |
| ·T 轴鲁棒补偿控制实验 | 第64-66页 |
| ·R 轴鲁棒补偿控制实验 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
