| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·SOI材料的技术特点 | 第11-12页 |
| ·SOI CMOS器件相比体硅CMOS器件的优势 | 第12-13页 |
| ·SOI在RF电路中的应用优势 | 第13-15页 |
| ·SOI的主要制备工艺 | 第15-16页 |
| ·国内外的研究状况和动态 | 第16-17页 |
| ·本论文的内容安排 | 第17-18页 |
| 第二章 SOI CMOS的工艺流程及SILVACO仿真 | 第18-32页 |
| ·SILVACO程序ATHENA系统简介 | 第18页 |
| ·工艺流程及仿真 | 第18-30页 |
| ·工艺平台的改进讨论 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 SOI的器件特性及模型分析 | 第32-46页 |
| ·PD SOI MOS器件的基本特性 | 第33-36页 |
| ·PD SOI MOS器件的特殊结构 | 第36-39页 |
| ·基于SOI技术的无源器件及其他器件 | 第39-40页 |
| ·SOI器件建模简介 | 第40-46页 |
| 第四章 SOI CMOS器件试制与测试分析 | 第46-58页 |
| ·芯片测试平台 | 第46-49页 |
| ·RF SOI MOS器件的版图及测试分析 | 第49-55页 |
| ·电阻的流片版图及测试结果 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 基于RF SOI的电路设计分析 | 第58-67页 |
| ·RF SOI的电路应用分析 | 第58-59页 |
| ·RF SOI射频前端电路应用分析 | 第59-60页 |
| ·射频前端开关电路简介 | 第60-61页 |
| ·开关电路结构分析 | 第61-62页 |
| ·开关电路的设计与优化 | 第62-63页 |
| ·开关电路的仿真 | 第63-64页 |
| ·版图设计 | 第64-65页 |
| ·RF SOI开关电路的芯片试制 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-68页 |
| ·总结 | 第67页 |
| ·展望 | 第67-68页 |
| 附录:SILVACO仿真程序 | 第68-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及专利申请目录 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |