| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第9-24页 |
| 1．1 键合线 | 第9页 |
| 1．2 引线键合的主要材料 | 第9-15页 |
| 1．2．1 金(Au)丝 | 第10页 |
| 1．2．2 Al-1％Si丝 | 第10-13页 |
| 1．2．3 铜丝 | 第13-15页 |
| 1．3 引线键合(WB)技术简介 | 第15-18页 |
| 1．3．1 热压焊 | 第15页 |
| 1．3．2 超声焊 | 第15-16页 |
| 1．3．3 金丝球焊 | 第16-18页 |
| 1．4 内引线键合可靠性 | 第18-22页 |
| 1．4．1 影响内引线键合可靠性的因素 | 第18-19页 |
| 1．4．2 失效分析 | 第19-22页 |
| 1．5 应用前景 | 第22-23页 |
| 1．6 本课题来源及研究目的 | 第23-24页 |
| 第二章 单晶铜丝的制备和机械性能测试 | 第24-27页 |
| 2．1 前言 | 第24页 |
| 2．2 材料制备 | 第24页 |
| 2．3 机械试验 | 第24页 |
| 2．3．1 样品预处理及试件安排 | 第24页 |
| 2．3．2 试验设备及方法 | 第24页 |
| 2．4 结果和讨论 | 第24-26页 |
| 2．4．1 单晶铜丝最佳退火工艺 | 第24-25页 |
| 2．4．2 丝的破断力和延伸率 | 第25-26页 |
| 2．5 总结 | 第26-27页 |
| 第三章 焊点与衬底的金属间化合物及焊点中的晶粒、形变亚结构和滑移带 | 第27-40页 |
| 3．1 焊点与衬底间的金属间化合物 | 第27-35页 |
| 3．1．1 前言 | 第27-28页 |
| 3．1．2 样品制备及试件安排 | 第28页 |
| 3．1．3 检测方法 | 第28-29页 |
| 3．1．4 结果和讨论 | 第29-35页 |
| 3．2 在热超声铜球键合中的晶粒、形变亚结构和滑移带 | 第35-38页 |
| 3．2．1 前言 | 第35页 |
| 3．2．2 样品制备及试件安排 | 第35页 |
| 3．2．3 试验方法 | 第35-36页 |
| 3．2．4 结果和讨论 | 第36-38页 |
| 3．3 总结 | 第38-40页 |
| 第四章 打线键合机械强度评估 | 第40-60页 |
| 4．1 前言 | 第40页 |
| 4．2 样品制备及试件安排 | 第40-41页 |
| 4．3．试验方法 | 第41-46页 |
| 4．3．1 拉线测试 | 第41-44页 |
| 4．3．2 球剪切测试 | 第44-46页 |
| 4．4 结果和讨论 | 第46-59页 |
| 4．4．1 球键合及楔键合工艺参数及键合形貌(SEM照片) | 第46-50页 |
| 4．4．2 键合引线的拉断力和球剪切力 | 第50-59页 |
| 4．5 总结 | 第59-60页 |
| 第五章 打线键合热老化影响评估 | 第60-67页 |
| 5．1 前言 | 第60页 |
| 5．2 样品制备及试件安排 | 第60页 |
| 5．3 试验方法 | 第60页 |
| 5．3．1 热老化处理 | 第60页 |
| 5．3．2 热老化后引线键合机械强度测试 | 第60页 |
| 5．3．3 做横截面分析 | 第60页 |
| 5．4 结果和讨论 | 第60-66页 |
| 5．4．1 无热老化和500小时热老化后引线拉断力和球剪切力的对比 | 第60-64页 |
| 5．4．2 横截面的对比分析(0，500小时) | 第64-66页 |
| 5．5 总结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第72页 |
