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AlGaN/AlN/GaN异质结场效应晶体管中极化库仑场散射制变温研究

摘要第8-12页
ABSTRACT第12-16页
符号表第18-19页
第一章 绪论第19-43页
    §1-1 GaN电子器件研究背景第19-23页
        1-1-1 GaN材料特性第19-21页
        1-1-2 AlGaN/GaN电子器件的应用第21-23页
    §1-2 AlGaN/GaN异质结电力电子器件市场发展现状第23-27页
    §1-3 AlGaN/GaN异质结材料及器件研究进展第27-33页
        1-3-1 AlGaN/GaN异质结材料发展历史第27-28页
        1-3-2 国内外AlGaN/GaN HFETs器件变温电学特性研究进展第28-33页
    §1-4 本论文的研究内容及安排第33-36页
    参考文献第36-43页
第二章 GaN、AlN、AlGaN材料参数的温度依赖关系第43-55页
    §2-1 GaN、AlN、AlGaN的晶格常数与温度的关系第43-46页
    §2-2 温度对GaN、AlN、AlGaN的禁带宽度和有效质量的影响第46-47页
    §2-3 GaN、AlN、AlGaN的介电常数与温度的关系第47-48页
    §2-4 GaN、AlN、AlGaN的热电性第48-53页
        2-4-1 GaN、AlN、AlGaN的自发极化第48-49页
        2-4-2 GaN、AlN、AlGaN的压电极化第49-51页
        2-4-3 AlGaN/AlN/GaN异质结界面处的极化电荷密度第51-53页
    参考文献第53-55页
第三章 AlGaN/AlN/GaN HFETs中二维电子气电子体系的变温研究第55-66页
    §3-1 AlGaN/AlN/GaN HFETs中的2DEG第55-61页
        3-1-1 AlGaN/AlN/GaN HFETs中2DEG的形成机理第55-56页
        3-1-2 AlGaN/AlN/GaN HFETs的工作机理第56页
        3-1-3 温度对AlGaN/AlN/GaN HFETs中2DEG面密度的影响第56-61页
    §3-2 温度对AlGaN/AlN/GaN HFETs中2DEG电子体系其它特征参数的影响第61-64页
        3-2-1 一维薛定谔方程和泊松方程的自洽求解第61-62页
        3-2-2 温度影响的结果与讨论第62-64页
    §3-3 本章小结第64-65页
    参考文献第65-66页
第四章 AlGaN/AlN/GaN HFETs中2DEG电子迁移率的变温研究第66-91页
    §4-1 室温下AlGaN/AlN/GaN HFETs中2DEG电子迁移率的研究第66-76页
    §4-2 AlGaN/AlN/GaN HFETs中2DEG电子迁移率的低温研究第76-83页
    §4-3 不同器件结构的AlGaN/AlN/GaN HFETs中2DEG电子迁移率的高温研究第83-89页
    §4-4 本章小结第89-90页
    参考文献第90-91页
第五章 AlGaN/AlN/GaN HFETs中栅源间电阻R_s的高温研究第91-107页
    §5-1 温度对栅源间电阻R_s的影响第91-100页
    §5-2 不同器件结构的AlGaN/AlN/GaN HFETs中栅源间电阻R_s的高温研究第100-104页
    §5-3 本章小结第104-105页
    参考文献第105-107页
第六章 结论第107-110页
致谢第110-111页
攻读博士学位期间发表的学术论文目录第111-113页
Paper 1第113-118页
Paper 2第118-130页
学位论文评阅及答辩情况表第130页

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