| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-11页 |
| ·本课题的意义和目标 | 第11-13页 |
| 第二章 HCl效应的物理机制以及对器件可靠性影响研究 | 第13-22页 |
| ·MOS器件HCl效应的物理机制 | 第13-19页 |
| ·热载流子定义 | 第13-14页 |
| ·热载流子效应 | 第14-16页 |
| ·JEDEC标准中的热载流子寿命推算 | 第16-19页 |
| ·电荷泵技术对热载流子效应的评估 | 第19-22页 |
| ·测试原理和方法 | 第20-22页 |
| 第三章 仿真器与模型的发展 | 第22-33页 |
| ·SPICE仿真器 | 第22-23页 |
| ·PSP模型的发展 | 第23-31页 |
| ·PSP模型的建立 | 第24-25页 |
| ·PSP模型的结构 | 第25-26页 |
| ·几何缩放 | 第26-28页 |
| ·PSP模型的修正 | 第28-31页 |
| ·HCl可靠性模型的发展 | 第31-33页 |
| 第四章 基于SPICE PSP的HCl可靠性模型研究 | 第33-41页 |
| ·HCl效应的PSP模型模拟 | 第33-37页 |
| ·可缩放HCl可靠性模型的提出 | 第37-41页 |
| ·HCl效应对器件性能的影响 | 第37页 |
| ·提出模型及相关因子分析 | 第37-41页 |
| 第五章 可缩放HCl模型的实现 | 第41-54页 |
| ·数据测试及模型提取 | 第41-47页 |
| ·初始模型的数据测试与参数提取 | 第41-45页 |
| ·HCl可靠性数据测试与模型提取流程 | 第45-47页 |
| ·HCl可靠性模型中数学公式的嵌入 | 第47-49页 |
| ·模型仿真结果 | 第49-54页 |
| 结论和展望 | 第54-55页 |
| 硕士期间发表学术论文 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 致谢 | 第60页 |