基于扩展Zernike多项式的投影物镜全视场像差优化研究
| 致谢 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·引言 | 第9-11页 |
| ·光学投影光刻 | 第9-10页 |
| ·光刻投影物镜 | 第10-11页 |
| ·选题的目的以及意义 | 第11-12页 |
| ·目前的研究现状 | 第12-15页 |
| ·光刻投影物镜的像质评价[10] | 第12-13页 |
| ·投影物镜的像质补偿-计算机辅助装调技术 | 第13-15页 |
| ·本论文的主要研究工作安排 | 第15-16页 |
| 第二章 基于Zernike多项式的扩展理论 | 第16-31页 |
| ·Zernike多项式 | 第16-21页 |
| ·Zernike多项式的特点 | 第19页 |
| ·Zernike在波像差分析中的应用 | 第19-20页 |
| ·Zernike多项式的表示的不足 | 第20-21页 |
| ·正交像差函数(OAF)理论 | 第21-29页 |
| ·OAF多项式 | 第21-26页 |
| ·OAF多项式的像差特性 | 第26-28页 |
| ·OAF多项式的视场相关性 | 第28页 |
| ·OAF多项式的应用 | 第28-29页 |
| ·其他基于Zernike多项式的扩展理论 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 光刻投影物镜的全视场像差函数 | 第31-47页 |
| ·光刻投影物镜系统的波像差分布特点 | 第31-32页 |
| ·投影物镜波像差的采集以及数据处理 | 第32-33页 |
| ·旋转对称系统 | 第33-40页 |
| ·十阶像差函数计算结果对比分析 | 第34-40页 |
| ·非旋转对称系统 | 第40-45页 |
| ·十阶像差函数计算结果对比分析 | 第40-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 基于OAF投影物镜装调误差仿真优化 | 第47-66页 |
| ·偏斜系统 | 第47-50页 |
| ·偏斜系统的性质 | 第47-48页 |
| ·偏斜系统的像差分析 | 第48-50页 |
| ·数学模型的建立 | 第50-57页 |
| ·投影物镜元件失调量与OAF多项式系数的联系 | 第50-55页 |
| ·灵敏度矩阵 | 第55-57页 |
| ·基于OAF评价函数的投影物镜装调误差补偿仿真 | 第57-64页 |
| ·不含加工误差情形 | 第58-62页 |
| ·含加工误差情形 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-68页 |
| ·已完成的研究内容 | 第66页 |
| ·不足与展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第71-7页 |
