声表面波MEMS器件研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| ·研究背景及意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状及发展趋势 | 第9-10页 |
| ·主要研究内容 | 第10-11页 |
| ·本文章节安排 | 第11-12页 |
| 2 声表面波器件基础 | 第12-22页 |
| ·声表面波概述 | 第12-15页 |
| ·声表面波的类型 | 第12-14页 |
| ·声表面波的性质 | 第14-15页 |
| ·声表面波器件叉指换能器 | 第15-18页 |
| ·叉指换能器概述 | 第15-17页 |
| ·叉指换能器基本特性 | 第17-18页 |
| ·声表面波器件 | 第18-21页 |
| ·声表面波器件原理及性质 | 第18-19页 |
| ·典型声表面波器件 | 第19-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 3 声表面波器件工艺研究及制作 | 第22-44页 |
| ·声表面波器件制作工艺 | 第22-32页 |
| ·声表面波器件制作工艺基础 | 第22-24页 |
| ·光刻工艺研究 | 第24-32页 |
| ·声表面波器件设计 | 第32-35页 |
| ·器件结构选择 | 第32-33页 |
| ·压电基片的准备 | 第33页 |
| ·器件尺寸参数设计 | 第33-34页 |
| ·掩模板绘制 | 第34-35页 |
| ·声表面波器件制作 | 第35-43页 |
| ·低频器件制作 | 第35-39页 |
| ·高频器件制作 | 第39-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 4 声表面波MEMS陀螺 | 第44-55页 |
| ·声表面波MEMS陀螺原理及设计 | 第44-46页 |
| ·声表面波MEMS陀螺结构及原理 | 第44页 |
| ·声表面波MEMS陀螺的设计 | 第44-46页 |
| ·声表面波MEMS陀螺制作 | 第46-54页 |
| ·SAW陀螺的制作 | 第46-48页 |
| ·SAW陀螺金属点阵一致性测试 | 第48-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 5 声表面波器件测试 | 第55-60页 |
| ·声表面波器件测试方法介绍 | 第55-56页 |
| ·声表面波器件测试原理 | 第55页 |
| ·网络分析仪 | 第55-56页 |
| ·声表面波器件测试 | 第56-59页 |
| ·低频器件测试 | 第56-58页 |
| ·高频器件测试 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 6 声表面波器件性能优化 | 第60-65页 |
| ·DLC在SAW中的应用 | 第60-61页 |
| ·沉积DLC的SAW器件制备及测试 | 第61-64页 |
| ·类金刚薄膜镀制 | 第61-63页 |
| ·沉积DLC的SAW器件测试 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 7 结论及展望 | 第65-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
