半导体芯片测试自动物料传送设备的研究
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-8页 |
1 绪论 | 第8-12页 |
·课题的来源及研究目的 | 第8页 |
·课题的研究背景和意义 | 第8-9页 |
·国内外现状 | 第9-10页 |
·本文的研究内容 | 第10-12页 |
2 自动物料传送系统 | 第12-19页 |
·半导体芯片测试线AMHS 设计 | 第12-13页 |
·半导体芯片测试线AMHS 控制 | 第13-15页 |
·半导体芯片测试线温度测试区自动物料传送设备 | 第15-16页 |
·半导体芯片测试线温度测试区设备控制结构 | 第16-18页 |
·本章小结 | 第18-19页 |
3 半导体芯片测试自动物料传送设备 | 第19-27页 |
·芯片托盘的结构参数与调度 | 第19-21页 |
·测试机台的测试参数 | 第21-24页 |
·自动物料传送设备特性分析 | 第24页 |
·自动物料传送设备结构设计分析 | 第24-26页 |
·本章小结 | 第26-27页 |
4 自动物料传送设备辅助部件机械结构 | 第27-41页 |
·AGV 的设计 | 第28-29页 |
·吊笼的设计 | 第29-33页 |
·夹持机构的设计 | 第33-40页 |
·本章小结 | 第40-41页 |
5 自动物料传送设备运动部件机械结构 | 第41-56页 |
·旋转运动部件的设计 | 第41-49页 |
·直线运动部件的设计 | 第49-50页 |
·数据线接插件 | 第50-53页 |
·机械结构的控制软件 | 第53-55页 |
·本章小结 | 第55-56页 |
6 总结与展望 | 第56-58页 |
·全文总结 | 第56页 |
·研究展望 | 第56-58页 |
致谢 | 第58-59页 |
参考文献 | 第59-62页 |
附录 攻读学位期间申请的专利 | 第62页 |