| 目录 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·透明导电薄膜的应用 | 第9-11页 |
| ·透明导电薄膜的种类及特点 | 第11-13页 |
| ·本文的研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 制备及测试方法 | 第15-21页 |
| ·磁控溅射 | 第15-17页 |
| ·结构和形貌表征技术-X射线衍射(XRD) | 第17-18页 |
| ·薄膜方阻及电阻率的测试 | 第18-20页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第20页 |
| ·其他测试技术 | 第20-21页 |
| 第三章 光谱分析技术 | 第21-25页 |
| ·薄膜材料的光学透射谱 | 第21页 |
| ·包络法 | 第21-23页 |
| ·单振子模型 | 第23-25页 |
| 第四章 不同氧分压对ZnO薄膜的影响 | 第25-33页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·实验过程 | 第25页 |
| ·实验结果和讨论 | 第25-32页 |
| ·结论 | 第32-33页 |
| 第五章 掺铝对ZnO薄膜的影响 | 第33-41页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·实验 | 第33-34页 |
| ·结果与分析 | 第34-39页 |
| ·结果和讨论 | 第39-41页 |
| 第六章 数值模拟氧含量对LaNiO_3薄膜导电性能的影响 | 第41-48页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·实验 | 第41-42页 |
| ·热处理实验结果 | 第42-43页 |
| ·数值模拟 | 第43-46页 |
| ·结论 | 第46-48页 |
| 总结 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 硕士期间发表的文章 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53页 |