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电流辅助烧结纳米银焊膏的快速互连工艺及机理研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
第一章 绪论第9-18页
    1.1 引言第9页
    1.2 电子封装的互连技术第9-13页
        1.2.1 回流焊技术第10-11页
        1.2.2 导电胶固化互连技术第11-13页
    1.3 低温烧结互连技术第13-15页
    1.4 快速烧结研究现状第15-17页
    1.5 本文研究意义和主要工作第17-18页
        1.5.1 研究意义第17页
        1.5.2 主要工作第17-18页
第二章 试样制备及实验装置第18-26页
    2.1 试样制备第18-21页
        2.1.1 纳米银焊膏第18-19页
        2.1.2 铜基板和模拟芯片第19页
        2.1.3 试样制备第19-21页
    2.2 实验设备第21-26页
        2.2.1 工艺设备第21-23页
        2.2.2 红外热像仪(SAT)第23-24页
        2.2.3 力学性能测试设备第24-26页
第三章 电流辅助烧结纳米银焊膏工艺第26-42页
    3.1 基于红外热成像技术的温度场测量第26-33页
        3.1.1 温度测量方法概述第26-27页
        3.1.2 温度校准第27-29页
        3.1.3 焊膏层温度分析第29-30页
        3.1.4 电流辅助烧结过程中温度场模拟第30-33页
    3.2 电流辅助烧结纳米银互连工艺研究第33-40页
        3.2.1 实验方案第33-34页
        3.2.2 基材的影响第34-35页
        3.2.3 通电电流的影响第35-38页
        3.2.4 通电时间的影响第38-40页
    3.3 本章小结第40-42页
第四章 电流辅助烧结纳米银焊膏的机理第42-53页
    4.1 热重分析(TGA)和示差扫描量热法(DSC)第42-43页
    4.2 电流辅助烧结机理探究第43-51页
        4.2.1 有机物的分解第43-45页
        4.2.2 烧结接头的线性收缩规律第45-46页
        4.2.3 颗粒重排第46-47页
        4.2.4 液相辅助烧结致密化机制第47-49页
        4.2.5 塑性变形致密化机制第49-50页
        4.2.6 电流辅助烧结纳米银焊膏的微观机理讨论第50-51页
    4.3 本章小结第51-53页
第五章 电流辅助烧结银接头的循环应力疲劳行为第53-60页
    5.1 试样准备及实验方案第53-54页
        5.1.1 疲劳测试试样准备第53-54页
        5.1.2 循环剪切实验方案第54页
    5.2 试验结果分析与对比第54-58页
        5.2.1 两种烧结接头的循环应力疲劳行为对比第54-57页
        5.2.2 平均应力和应力幅的影响第57-58页
    5.3 本章小结第58-60页
第六章 结论与展望第60-62页
    6.1 结论第60-61页
    6.2 展望第61-62页
参考文献第62-69页
发表论文和参加科研情况说明第69-70页
致谢第70-71页

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