| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-26页 |
| 1.1 气体检测、气体传感器的应用 | 第9-10页 |
| 1.2 基于MEMS 技术的微气体传感器 | 第10-14页 |
| 1.2.1 半导体气体传感器 | 第10-11页 |
| 1.2.2 固体电解质气体传感器 | 第11页 |
| 1.2.3 电化学式气体传感器 | 第11-12页 |
| 1.2.4 接触燃烧式气体传感器 | 第12页 |
| 1.2.5 高分子气体传感器 | 第12-13页 |
| 1.2.6 振荡式微气体传感器 | 第13页 |
| 1.2.7 红外线吸收式微气体传感器 | 第13-14页 |
| 1.3 碳纳米管的性能及应用，基于碳纳米管的气体传感器 | 第14-18页 |
| 1.3.1 碳纳米管电导式气体传感器 | 第15-16页 |
| 1.3.2 电容式气体传感器 | 第16-17页 |
| 1.3.3 碳纳米管电离式气体传感器 | 第17-18页 |
| 1.4 电离式气体传感器原理 | 第18-25页 |
| 1.4.1 汤生放电的基本原理和过程 | 第18-20页 |
| 1.4.2 空气电离 | 第20-22页 |
| 1.4.3 碳纳米管的场发射性能与场增强作用 | 第22-23页 |
| 1.4.4 DBD 结构的应用 | 第23-25页 |
| 1.5 本论文的研究内容 | 第25-26页 |
| 第二章 碳纳米管薄膜的沉积和表征 | 第26-38页 |
| 2.1 碳管的薄膜的制备方法 | 第26页 |
| 2.2 丝网印刷法 | 第26-27页 |
| 2.3 混合电镀法 | 第27-30页 |
| 2.4 电泳加电镀法 | 第30-37页 |
| 2.4.1 工艺流程 | 第31-33页 |
| 2.4.2 薄膜性能的表征 | 第33-37页 |
| 2.5 本章小节 | 第37-38页 |
| 第三章 器件结构设计与加工 | 第38-47页 |
| 3.1 微室结构的实现 | 第38-42页 |
| 3.1.1 工艺流程（微室结构） | 第38-39页 |
| 3.1.2 器件结构的分析 | 第39-40页 |
| 3.1.3 对结构的改进 | 第40-42页 |
| 3.2 侧壁结构的实现 | 第42-46页 |
| 3.2.1 工艺流程（侧壁结构） | 第42-44页 |
| 3.2.2 DBD 结构 | 第44-46页 |
| 3.3 器件的简单封装 | 第46页 |
| 3.4 本章小节 | 第46-47页 |
| 第四章 传感器性能测试 | 第47-66页 |
| 4.1 测试平台 | 第47-48页 |
| 4.2 测试方法 | 第48-53页 |
| 4.2.1 设置阀值电流 | 第48-51页 |
| 4.2.3 离化曲线与场发射曲线的区别 | 第51-53页 |
| 4.3 对不同气体的识别 | 第53-56页 |
| 4.3.1 I-V 曲线的可重复性 | 第53-54页 |
| 4.3.2 对八种不同气体的检测 | 第54-56页 |
| 4.4 DBD 结构对性能的贡献 | 第56-57页 |
| 4.5 对呼吸的响应 | 第57-63页 |
| 4.5.1 气体测试的时间稳定性 | 第57-59页 |
| 4.5.2 电离式传感器对呼吸的检测 | 第59-63页 |
| 4.6 器件对混合有机气体的响应 | 第63-65页 |
| 4.7 本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-69页 |
| 5.1 基本结论 | 第66-67页 |
| 5.2 存在的问题和展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文和专利 | 第73页 |