高精度形状测量仪关键技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1. 绪论 | 第9-13页 |
| ·研究背景和意义 | 第9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-11页 |
| ·研究内容 | 第11-13页 |
| 2. 形状测量仪的测量技术研究 | 第13-18页 |
| ·形状测量仪总体结构 | 第13-15页 |
| ·悬臂转台式结构 | 第13页 |
| ·龙门式结构 | 第13-14页 |
| ·测头旋转式结构 | 第14-15页 |
| ·形状测量仪数据测量方法 | 第15-17页 |
| ·数据采集路径 | 第15-16页 |
| ·测量方法 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 3. 形状测量仪结构设计 | 第18-40页 |
| ·形状测量仪整机结构设计 | 第18页 |
| ·回转工作台及直线导轨副的技术分析 | 第18-24页 |
| ·回转工作台及直线导轨副的技术分析 | 第18-20页 |
| ·气体静压技术 | 第20-21页 |
| ·多孔质材料 | 第21-22页 |
| ·多孔质节流的设计原理 | 第22-24页 |
| ·回转工作台部件的设计分析 | 第24-31页 |
| ·高精度回转工作台的结构 | 第24-25页 |
| ·气体静压轴承的静态性能分析 | 第25页 |
| ·气体静压轴承静态特性的分析方法 | 第25-31页 |
| ·直线导轨副部件的设计分析 | 第31-36页 |
| ·测量仪基座的材料 | 第31-32页 |
| ·直线导轨副的结构设计 | 第32-36页 |
| ·调心调平工作台的设计分析 | 第36-39页 |
| ·调心调平功能对测量的影响 | 第36-37页 |
| ·调心调平工作台的结构设计 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4. 关键零部件的加工及装配调试 | 第40-44页 |
| ·关键零部件的加工工艺 | 第40-42页 |
| ·转台中心轴加工工艺 | 第40-41页 |
| ·直线导轨副及调心调平工作台的加工工艺 | 第41-42页 |
| ·形状测量仪的装配工艺 | 第42-43页 |
| ·回转工作台的装配工艺 | 第42-43页 |
| ·直线导轨副的装配工艺 | 第43页 |
| ·调心调平工作台装配工艺 | 第43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 5. 形状测量仪误差分析及精度计算 | 第44-56页 |
| ·形状测量仪误差分析 | 第44-47页 |
| ·测量仪误差分析 | 第44-45页 |
| ·测量仪误差计算 | 第45-47页 |
| ·气体静压转台的精度检测设计 | 第47-52页 |
| ·转台精度测试原理及评价方法 | 第47-49页 |
| ·回转工作台精度检测方法 | 第49-52页 |
| ·气体静压导轨副的精度测试 | 第52-55页 |
| ·导轨副精度测试原理及评价方法 | 第52-53页 |
| ·导轨副精度测试过程及结果 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 6. 结论与展望 | 第56-58页 |
| ·总结 | 第56页 |
| ·创新点 | 第56页 |
| ·研究展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 附录：攻读硕士学位期间取得的成果 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
