| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·课题研究的意义 | 第7-8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-11页 |
| ·国外研究现状 | 第9-10页 |
| ·国内研究现状 | 第10-11页 |
| ·研究内容和论文安排 | 第11-13页 |
| 第二章 无线无源SAW压力传感器理论及测量理论分析 | 第13-21页 |
| ·声表面波器件基本原理简介 | 第13-17页 |
| ·声表面波形成与类型 | 第13-14页 |
| ·声表面波传感器基本工作原理 | 第14-15页 |
| ·声表面波传感器结构简介 | 第15-17页 |
| ·无线无源SAW压力传感器测量理论介绍与测量方法分析 | 第17-20页 |
| ·微弱信号检测理论介绍 | 第17-18页 |
| ·无线无源SAW压力传感器测量方法 | 第18-20页 |
| ·小结 | 第20-21页 |
| 第三章 基于ANSYS模型的SAW传感器压力分析 | 第21-31页 |
| ·有限元分析简介 | 第21页 |
| ·器件压力测试模型建立 | 第21-25页 |
| ·ANSYS软件简介 | 第21-22页 |
| ·测试模型的单元选择 | 第22-23页 |
| ·模型建立及网格划分 | 第23-25页 |
| ·模型压力分析 | 第25-30页 |
| ·模型压力分析理论简介 | 第25-27页 |
| ·模型压力分析 | 第27-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 第四章 SAW压力传感器总体设计及试验品制作 | 第31-47页 |
| ·无源无线声表面波压力传感器的总体设计 | 第31-38页 |
| ·无源无线声表面波压力传感器基片材料选择 | 第31-33页 |
| ·叉指换能器的设计 | 第33-36页 |
| ·反射栅设计 | 第36-38页 |
| ·无源无线声表面波压力传感器工艺制作 | 第38-46页 |
| ·半导体工艺简介 | 第39页 |
| ·传感器制作工艺 | 第39-43页 |
| ·传感器封装工艺 | 第43-46页 |
| ·小结 | 第46-47页 |
| 第五章 压力传感器性能测试 | 第47-59页 |
| ·测试电路设计 | 第47-53页 |
| ·发射电路实现 | 第47-50页 |
| ·接收电路 | 第50-52页 |
| ·系统具体测试算法介绍 | 第52-53页 |
| ·传感器具体测试 | 第53-58页 |
| ·利用矢量网络分析仪测试 | 第53-55页 |
| ·对传感器进行压力测试 | 第55-58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 第六章 结论与展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |