| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-15页 |
| ·研究背景与意义 | 第6-10页 |
| ·研究背景 | 第6-8页 |
| ·选题意义 | 第8-10页 |
| ·国内外研究综述 | 第10-14页 |
| ·FMEA的起源 | 第10-11页 |
| ·国外应用现状与研究 | 第11-12页 |
| ·国内应用现状与研究 | 第12-14页 |
| ·论文的内容与框架 | 第14-15页 |
| 第二章 FMEA基本理论及其应用 | 第15-28页 |
| ·FMEA基本理论 | 第15-16页 |
| ·FMEA概念定义 | 第15-16页 |
| ·FMEA应用目的 | 第16页 |
| ·FMEA应用方法 | 第16-24页 |
| ·FMEA术语定义 | 第16-17页 |
| ·FMEA方法分类 | 第17-20页 |
| ·FMEA执行步骤 | 第20-24页 |
| ·FMEA分析方法工具 | 第24-27页 |
| ·故障树分析(FTA) | 第24-26页 |
| ·设计实验(DOE) | 第26页 |
| ·风险顺序数法(RPN) | 第26-27页 |
| ·结束语 | 第27-28页 |
| 第三章 FMEA在工艺整合项目风险管理中的应用 | 第28-41页 |
| ·项目风险管理理论 | 第28-31页 |
| ·项目风险分类 | 第29页 |
| ·项目风险管理过程与方法 | 第29-31页 |
| ·项目风险识别与评估 | 第31-33页 |
| ·项目风险识别的方法 | 第31页 |
| ·项目风险评估的方法 | 第31-33页 |
| ·半导体工艺整合项目管理 | 第33-36页 |
| ·新产品开发工艺整合项目 | 第33-34页 |
| ·新工艺开发工艺整合项目 | 第34-36页 |
| ·半导体工艺整合项目应用FMEA的研究 | 第36-40页 |
| ·FMEA特点分析 | 第36-37页 |
| ·半导体工艺整合项目风险管理应用FMEA可行性分析 | 第37-39页 |
| ·半导体项目风险管理FMEA的风险评价方法 | 第39-40页 |
| ·结束语 | 第40-41页 |
| 第四章 FMEA应用实例分析 | 第41-59页 |
| ·FMEA计划制定与导入 | 第41-43页 |
| ·FMEA在量产工艺平台的新产品导入中的应用 | 第43-52页 |
| ·背景介绍 | 第43页 |
| ·建立工艺流程图 | 第43-45页 |
| ·分析潜在故障模式与影响 | 第45-48页 |
| ·查找潜在故障的原因 | 第48-49页 |
| ·计算RPN值 | 第49-50页 |
| ·纠正措施 | 第50页 |
| ·完成FMEA表 | 第50-52页 |
| ·FMEA在新工艺平台的新产品开发中的应用 | 第52-58页 |
| ·背景介绍 | 第52-53页 |
| ·绘制功能方框图 | 第53-54页 |
| ·分析已知故障模式与影响 | 第54页 |
| ·查找故障原因 | 第54-56页 |
| ·计算RPN | 第56页 |
| ·纠正措施 | 第56-57页 |
| ·完成FMEA表格 | 第57-58页 |
| ·跟踪措施与总结 | 第58-59页 |
| 第五章 研究成果与展望 | 第59-61页 |
| ·效益评估 | 第59-60页 |
| ·FMEA项目直接效益 | 第59页 |
| ·FMEA项目间接效益 | 第59-60页 |
| ·展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 后记 | 第63-64页 |