NDIR便携式气体传感器关键技术的研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-8页
第一章 前言	第8-14页
·气体传感器研究背景和意义	第8-13页
·气体传感器	第9-11页
·NDIR气体传感器	第11-13页
·本文内容及创新点	第13-14页
第二章 NDIR便携式气体传感器	第14-19页
·NDIR便携式气体传感工作原理	第14-15页
·NDIR便携式气体传感器系统设计	第15-18页
·本章小结	第18-19页
第三章 MEMS红外光源	第19-28页
·研究意义	第19-20页
·MEMS红外光源设计和制备	第20-25页
·工作原理	第20-21页
·电极材料选取以及光源结构设计	第21-24页
·MEMS红外光源的制备过程	第24-25页
·MEMS红外光源的测试结果和讨论	第25-27页
·本章小结	第27-28页
第四章 NDIR气体传感器样品吸收腔研究	第28-39页
·研究意义	第28-29页
·基本理论	第29-31页
·中红外空心光纤吸收腔	第29-30页
·测试步骤	第30-31页
·红外气体传感器光纤腔体研究	第31-35页
·改进后的NDIR便携式气体传感器性能测试结果	第35-38页
·NDIR便携式气体传感器的响应时间	第35页
·NDIR便携式气体传感器响应	第35-36页
·NDIR便携式气体传感器对不同气体的检测	第36-37页
·NDIR便携式气体传感器系统的重复性	第37-38页
·本章小结	第38-39页
第五章 MEMS微富集器	第39-50页
·研究意义与现状	第39-41页
·微富集器基本结构	第41页
·微富集器吸附材料的脱附研究	第41-48页
·Silicate-1分子筛材料的研究	第41-44页
·Silicate-1分子筛材料测试结果	第44-48页
·微富集器的热源研究	第48-49页
·本章小结	第49-50页
第六章 全文总结	第50-51页
参考文献	第51-54页
硕士研究生在读期间发表论文	第54-55页
致谢	第55-56页