硅衬底辐照损伤噪声测试样品研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-9页 |
| ·研究背景 | 第7页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第7-9页 |
| 第二章 硅衬底材料辐射效应及噪声产生机理 | 第9-23页 |
| ·硅衬底材料基本概念 | 第9-13页 |
| ·硅衬底材料结构及特性 | 第9-10页 |
| ·硅衬底材料相关工艺 | 第10-11页 |
| ·硅材料及集成电路的发展 | 第11-12页 |
| ·硅衬底材料质量及对器件的影响 | 第12-13页 |
| ·辐射效应的基本概念 | 第13-17页 |
| ·辐射的基本概念 | 第13-14页 |
| ·材料辐射效应发展简史 | 第14-15页 |
| ·辐射损伤机理 | 第15-17页 |
| ·噪声产生机理 | 第17-23页 |
| ·噪声概述 | 第17-18页 |
| ·1/f噪声产生机理 | 第18-19页 |
| ·低频噪声诊断半导体器件可靠性 | 第19-23页 |
| 第三章 硅衬底材料辐射效应实验 | 第23-35页 |
| ·实验样品 | 第23-28页 |
| ·太阳能电池样品 | 第23-24页 |
| ·传统电学参量表征 | 第24-27页 |
| ·太阳能电池的辐照损伤 | 第27-28页 |
| ·辐照实验 | 第28-31页 |
| ·实验方案 | 第28-29页 |
| ·电学参数测试系统 | 第29页 |
| ·低频噪声测试系统 | 第29-31页 |
| ·实验结果及分析 | 第31-35页 |
| ·辐照前后电参数的变化 | 第31-32页 |
| ·辐照前后低频噪声的变化 | 第32-33页 |
| ·电学参量与噪声参量的比较分析 | 第33-35页 |
| 第四章 辐照损伤表征模型和测试样品设计 | 第35-51页 |
| ·硅衬底材料辐照损伤电学模型 | 第35-37页 |
| ·硅衬底材料辐照损伤电学模型 | 第35-36页 |
| ·实验验证 | 第36-37页 |
| ·硅衬底材料辐照损伤噪声模型 | 第37-43页 |
| ·太阳能电池噪声模型 | 第37-41页 |
| ·太阳能电池辐照损伤噪声表征模型 | 第41-43页 |
| ·硅衬底材料噪声测试样品设计 | 第43-51页 |
| ·设计的理论依据 | 第43-47页 |
| ·样品设计 | 第47页 |
| ·设计规范 | 第47页 |
| ·样品结构与验证 | 第47-51页 |
| 第五章 结论与展望 | 第51-53页 |
| ·论文结论 | 第51页 |
| ·展望 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 作者在读研期间的成果 | 第59-60页 |
