一种电容间隙精确可控的硅硅键合三明治加速度传感器
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-20页 |
| ·微加速度传感器 | 第9-13页 |
| ·微加速度传感器及其应用 | 第9-10页 |
| ·微加速度传感器的分类与工作原理 | 第10-12页 |
| ·加速度传感器的机械噪声 | 第12-13页 |
| ·电容式加速度传感器 | 第13-14页 |
| ·电容式加速度传感器的工艺制作 | 第14-18页 |
| ·梳齿式电容加速度传感器 | 第14-16页 |
| ·三明治结构电容式加速度传感器 | 第16-18页 |
| ·加速度传感器设计目标 | 第18-19页 |
| ·论文主要内容 | 第19-20页 |
| 第二章 传感器设计 | 第20-32页 |
| ·全硅的三明治结构 | 第20-21页 |
| ·开环微加速度传感器的灵敏度 | 第21-22页 |
| ·电容间隙的设计 | 第22-28页 |
| ·挠性梁形状的选择 | 第24-25页 |
| ·质量块 | 第25-26页 |
| ·梁的最大位移与谐振频率计算及模拟 | 第26-28页 |
| ·差分电容的线性响应范围 | 第28页 |
| ·交叉轴灵敏度 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 传感器制作工艺 | 第32-42页 |
| ·质量块制作及梁厚控制 | 第32-34页 |
| ·梁工艺参数的确定 | 第34-35页 |
| ·键合工艺及粘粘问题 | 第35-38页 |
| ·对称划片 | 第38-39页 |
| ·工艺流程 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 器件性能测试 | 第42-51页 |
| ·质量块吸合测试 | 第42-45页 |
| ·可变电容及吸合电压 | 第42-43页 |
| ·吸合电压的理论值 | 第43-44页 |
| ·吸合电压的测试 | 第44-45页 |
| ·静态信号测试 | 第45-46页 |
| ·Q值测试 | 第46-49页 |
| ·梁厚均匀性测试 | 第49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 总结和展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 硕士期间发表论文 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 作者简介 | 第57-58页 |
