| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-14页 |
| ·MEMS电容式加速度传感器 | 第9-10页 |
| ·MEMS加速度传感器简介 | 第9页 |
| ·MEMS电容式加速度传感器 | 第9-10页 |
| ·微弱电容检测技术 | 第10-13页 |
| ·方波驱动交流电桥电压放大器 | 第10-11页 |
| ·谐波驱动交流电桥电压放大器 | 第11页 |
| ·开关电容电路 | 第11-12页 |
| ·通用电容检测芯片 | 第12-13页 |
| ·论文的主要工作 | 第13-14页 |
| 第二章 MEMS电容式加速度传感器模型的建立 | 第14-28页 |
| ·电容式加速度传感器工作原理 | 第14-18页 |
| ·加速度传感器动力学模型 | 第14-16页 |
| ·电容式传感器差分电容模型 | 第16-18页 |
| ·已有的电容式加速度传感器模型 | 第18-20页 |
| ·动力学模型的实现 | 第18-19页 |
| ·压控电容模型 | 第19-20页 |
| ·基于Verilog-A的电容式加速度传感器模型 | 第20-24页 |
| ·基于Verilog-A的加速度传感器模型 | 第20-22页 |
| ·基于Verilog-A的压控电容模型 | 第22-24页 |
| ·基于Verilog-A的电容式加速度传感器模型仿真 | 第24-27页 |
| ·阶跃响应 | 第24页 |
| ·频率响应 | 第24-25页 |
| ·瞬态响应 | 第25-26页 |
| ·噪声特性 | 第26-27页 |
| ·小结 | 第27-28页 |
| 第三章 电容式加速度传感器接口集成电路设计 | 第28-56页 |
| ·开关电容CV转换器 | 第28-46页 |
| ·开关电容放大器工作原理 | 第28-30页 |
| ·开关电容CV转换电路 | 第30-33页 |
| ·全差分运算放大器 | 第33-38页 |
| ·开关电容放大器的噪声 | 第38-43页 |
| ·开关电容放大器的CDS模型 | 第43-46页 |
| ·采样保持电路 | 第46-53页 |
| ·开关尺寸的选取 | 第47-48页 |
| ·开关选取对建立时间的影响 | 第48页 |
| ·精度问题 | 第48-53页 |
| ·输出缓冲电路 | 第53-55页 |
| ·加速度传感器集成接口电路版图 | 第55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 第四章 电容式加速度传感器接口集成电路仿真与测试 | 第56-72页 |
| ·动态特性仿真 | 第57-61页 |
| ·最大不失真正弦加速度输入信号 | 第57-59页 |
| ·最小可分辨正弦加速度输入信号 | 第59-61页 |
| ·开关电容放大器的交流与噪声仿真 | 第61-64页 |
| ·电路原理图 | 第61-62页 |
| ·仿真结果 | 第62-64页 |
| ·参考电容失配对输出结果的影响 | 第64-66页 |
| ·参考电容失配对小信号输出结果的影响 | 第64-65页 |
| ·参考电容失配对大信号输出结果的影响 | 第65-66页 |
| ·电容式传感器接口集成电路测试 | 第66-71页 |
| ·灵敏度测试 | 第66-67页 |
| ·失调电压的推算 | 第67-68页 |
| ·噪声测试 | 第68-70页 |
| ·测试结果与存在的问题 | 第70-71页 |
| ·小结 | 第71-72页 |
| 第五章 结论与展望 | 第72-73页 |
| ·本论文的主要工作 | 第72页 |
| ·下一步工作的展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 发表文章目录 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 作者简介 | 第78-79页 |