纳米WO₃薄膜对H₂S气体的敏感特性与机理研究

摘要	第4-5页
Abstract	第5-6页
1 绪论	第9-20页
1.1 半导体气体传感器的研究进展与发展方向	第9-12页
1.2 三氧化钨纳米材料及其气敏性能研究现状	第12-15页
1.3 胶体纳米晶气体传感器的发展动态分析	第15-18页
1.4 本文主要研究内容	第18-20页
2 WO_3胶体纳米晶的合成和微观特性研究	第20-27页
2.1 溶剂法合成WO_3胶体纳米晶	第20-22页
2.2 WO_3胶体纳米晶的微观特性分析	第22-25页
2.3 WO_3胶体纳米材料的形貌控制	第25-26页
2.4 本章小结	第26-27页
3 纳米WO_3薄膜的敏感特性研究与分析	第27-50页
3.1 室温旋涂法制备纳米WO_3薄膜	第27-29页
3.2 WO_3气敏薄膜微观特性分析	第29-32页
3.3 WO_3薄膜对H_2S气体的敏感特性研究	第32-39页
3.4 纳米WO_3薄膜的气敏机理研究	第39-48页
3.5 本章小结	第48-50页
4 纳米WO_3气体传感器的气敏特性研究	第50-59页
4.1 纳米WO_3气体传感器的封装制备	第50-52页
4.2 退火温度对传感器气敏特性的影响	第52-54页
4.3 加热电压对传感器气敏特性的影响	第54-58页
4.4 本章小结	第58-59页
5 研究总结与展望	第59-61页
5.1 研究内容总结	第59-60页
5.2 研究内容展望	第60-61页
致谢	第61-62页
参考文献	第62-70页
攻读学位期间发表论文目录	第70-71页
攻读学位期间所获得的奖励	第71页