| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-25页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-14页 |
| 1.2 热对流式加速度传感器的国内外研究现状 | 第14-18页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第14-17页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第17-18页 |
| 1.3 MEMS微机械加工技术 | 第18-23页 |
| 1.3.1 硅表面微加工工艺 | 第19-21页 |
| 1.3.2 体硅微机械加工工艺 | 第21-23页 |
| 1.4 论文主要内容 | 第23-25页 |
| 第2章 MEMS热对流加速度传感器的原理和模型分析 | 第25-31页 |
| 2.1 热对流加速度计原理 | 第25-26页 |
| 2.2 热对流加速度计自然对流传热模型 | 第26-27页 |
| 2.3 铂薄膜材料特性 | 第27-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 MEMS热对流加速度传感器的仿真分析及结构设计 | 第31-45页 |
| 3.1 有限元耦合仿真 | 第31-39页 |
| 3.1.1 建模和仿真 | 第31-37页 |
| 3.1.2 仿真结果分析 | 第37-39页 |
| 3.2 热对流加速度计结构设计 | 第39-44页 |
| 3.2.1 加速度计结构及布局 | 第39-42页 |
| 3.2.2 方块电阻的测量结构 | 第42-43页 |
| 3.2.3 加速度计各部分材料选取 | 第43-44页 |
| 3.3 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 MEMS热对流加速度传感器版图设计及工艺加工 | 第45-59页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 MEMS热对流加速度传感器工艺流程设计 | 第45-47页 |
| 4.3 版图设计 | 第47-51页 |
| 4.3.1 L-Edit版图绘制 | 第47-49页 |
| 4.3.2 对准标记设计 | 第49-51页 |
| 4.4 MEMS热对流加速度传感器工艺实施 | 第51-58页 |
| 4.4.1 PI薄膜的实验 | 第51-54页 |
| 4.4.2 后续工艺流程 | 第54-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 外接电路的设计和加速度计的测试 | 第59-67页 |
| 5.1 MEMS热对流加速度传感器的接口电路 | 第59-62页 |
| 5.1.1 加热器温度控制电路 | 第59-60页 |
| 5.1.2 加速度检测电路 | 第60-62页 |
| 5.1.3 完整接口电路 | 第62页 |
| 5.2 MEMS热对流加速度传感器的测试 | 第62-66页 |
| 5.3 本章小结 | 第66-67页 |
| 第6章 总结 | 第67-69页 |
| 6.1 论文总结 | 第67-68页 |
| 6.2 论文中的不足和展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 附录 | 第75页 |
