触针轮廓仪传感器校准及误差补偿
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-11页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 课题目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第9-10页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第10-11页 |
| 2 传感器非线性误差分析及校准 | 第11-25页 |
| 2.1 触针式轮廓仪测量原理 | 第11-12页 |
| 2.2 大范围轮廓测量非线性误差分析 | 第12-15页 |
| 2.3 校准算法原理 | 第15-18页 |
| 2.4 校准算法仿真测试 | 第18-21页 |
| 2.5 校准算法实验测试 | 第21-24页 |
| 2.6 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 针尖磨损影响分析及误差补偿 | 第25-40页 |
| 3.1 针尖磨损对轮廓测量的影响 | 第25-26页 |
| 3.2 被测轮廓重建算法 | 第26-33页 |
| 3.3 针尖轮廓重建算法 | 第33-35页 |
| 3.4 针尖轮廓重建算法仿真测试 | 第35-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 导轨误差影响分析及误差补偿 | 第40-56页 |
| 4.1 x向导轨直线度误差补偿 | 第40-42页 |
| 4.2 y向工作台安装误差对轮廓测量的影响 | 第42-44页 |
| 4.3 补偿算法原理 | 第44-48页 |
| 4.4 补偿算法仿真测试 | 第48-52页 |
| 4.5 补偿算法实验测试 | 第52-55页 |
| 4.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 5 软件系统设计及实验 | 第56-63页 |
| 5.1 软件系统框架设计及界面 | 第56-58页 |
| 5.2 软件系统实现方法 | 第58-60页 |
| 5.3 实验测试 | 第60-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 6 总结与展望 | 第63-65页 |
| 6.1 总结 | 第63页 |
| 6.2 展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 附录 攻读硕士期间成果 | 第69页 |
