| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 引论 | 第16-21页 |
| 1.1 研究与课题背景 | 第16-17页 |
| 1.2 互连技术 | 第17-18页 |
| 1.3 寄生参数提取 | 第18-19页 |
| 1.4 论文的主要工作与重点内容 | 第19页 |
| 1.5 文章的组织结构 | 第19-21页 |
| 2 麦克斯韦方程组和传输线参数模型 | 第21-34页 |
| 2.1 麦克斯韦方程 | 第21-26页 |
| 2.1.1 麦克斯韦方程 | 第21-26页 |
| 2.2 麦克斯韦方程的近似形式 | 第26-30页 |
| 2.2.1 静电场近似(ES: Electro-Static) | 第27页 |
| 2.2.2 恒定电场与恒定磁场近似(IEF: Invariance Electric Field) | 第27-28页 |
| 2.2.3 准静电场近似（EQS: Electro-Quasi-Static） | 第28-29页 |
| 2.2.4 准静磁场近似(MQS: Magneto-Quasi-Static) | 第29页 |
| 2.2.5 似稳场近似(EMQS: Electro-Magneto-Quasi-Static) | 第29-30页 |
| 2.3 互连线参数模型 | 第30-33页 |
| 2.3.1 RC 树状模型 | 第30-31页 |
| 2.3.2 RL 树状模型 | 第31页 |
| 2.3.3 RLC 树状模型 | 第31页 |
| 2.3.4 RLGC 树状模型 | 第31-32页 |
| 2.3.5 互连线模型选取标准 | 第32-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 3 芯片内互联线寄生参数提取 | 第34-42页 |
| 3.1 一些参数提取方法 | 第34-36页 |
| 3.1.1 有限元 | 第34-35页 |
| 3.1.2 矩量法 | 第35页 |
| 3.1.3 边界元法 | 第35-36页 |
| 3.2 考虑高频趋肤效应下的去频率耦合 | 第36-39页 |
| 3.2.1 趋肤效应 | 第36-37页 |
| 3.2.2 矩量网格划分 | 第37-39页 |
| 3.3 互连线寄生参数的提取 | 第39-40页 |
| 3.3.1 寄生电感的提取 | 第39页 |
| 3.3.2 寄生电阻的提取 | 第39页 |
| 3.3.3 寄生电容的提取 | 第39-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-42页 |
| 4 模型降阶及简化 | 第42-54页 |
| 4.1 模型降阶的基本介绍 | 第42-44页 |
| 4.2 RLC 的电路的降阶方法 | 第44-48页 |
| 4.2.1 MNA 方程介绍 | 第44-48页 |
| 4.2.2 PRIMA 方法 | 第48页 |
| 4.2.3 SPRIM 方法 | 第48页 |
| 4.3 基于可观测标准型的模型降阶算法 | 第48-52页 |
| 4.3.1 系统状态方程 | 第48-49页 |
| 4.3.2 系统的可观测性 | 第49-50页 |
| 4.3.3 可观测标准型 | 第50-51页 |
| 4.3.4 MOROC 算法[17] | 第51-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 5 算法实验和性能分析 | 第54-69页 |
| 5.1 算法平台和实验条件 | 第54-56页 |
| 5.2 实验方法和数据分析 | 第56-67页 |
| 5.2.1 实验方法和对象 | 第56-57页 |
| 5.2.2 标准划分5x5x3 | 第57-62页 |
| 5.2.3 MOROC 模型降阶 | 第62-63页 |
| 5.2.4 切割方法对性能的影响 | 第63-67页 |
| 5.3 本章小结 | 第67-69页 |
| 6 结论 | 第69-71页 |
| 6.1 总结 | 第69-70页 |
| 6.2 课题展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第75-76页 |
