静压液浮大面积电致化学抛光试验台研制
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 课题背景 | 第8-10页 |
| 1.2 电致化学抛光技术 | 第10-13页 |
| 1.2.1 电致化学抛光的基本原理 | 第10-12页 |
| 1.2.2 电致化学抛光关键技术 | 第12-13页 |
| 1.3 大面积微纳间隙控制方法 | 第13-18页 |
| 1.3.1 微进给机构 | 第14-15页 |
| 1.3.2 微纳间隙检测方法 | 第15-18页 |
| 1.4 课题来源与本文研究内容 | 第18-19页 |
| 2 液体静压支承微纳间隙控制 | 第19-37页 |
| 2.1 液体静压支承基本原理 | 第19-22页 |
| 2.1.1 单液腔静压支承 | 第19-21页 |
| 2.1.2 多液腔静压支承 | 第21-22页 |
| 2.2 静压支承间隙控制理论计算 | 第22-26页 |
| 2.2.1 矩形液腔液阻计算 | 第22-23页 |
| 2.2.2 矩形液腔的有效承载面积 | 第23-24页 |
| 2.2.3 毛细管节流器液阻计算 | 第24-25页 |
| 2.2.4 静压支承间隙及其特性计算 | 第25-26页 |
| 2.3 静压支承参数选择 | 第26-31页 |
| 2.3.1 静压腔参数选择 | 第27-29页 |
| 2.3.2 毛细管节流器参数选择 | 第29-30页 |
| 2.3.3 静压支承间隙理论曲线 | 第30-31页 |
| 2.4 静压支承间隙控制试验平台设计 | 第31-36页 |
| 2.4.1 试验平台总体设计 | 第31-32页 |
| 2.4.2 悬浮平台结构设计 | 第32-34页 |
| 2.4.3 悬浮平台夹具 | 第34-36页 |
| 2.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 3 大面积电极的制备 | 第37-43页 |
| 3.1 大面积电极制备要求 | 第37页 |
| 3.2 大面积电极制备方法 | 第37-42页 |
| 3.2.1 溅射金薄膜电极 | 第37-40页 |
| 3.2.2 玻碳镶嵌电极 | 第40-42页 |
| 3.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 4 静压支承间隙控制试验 | 第43-56页 |
| 4.1 液体静压支承试验 | 第43-47页 |
| 4.1.1 试验条件 | 第43-44页 |
| 4.1.2 液膜厚度与供压关系标定试验 | 第44-46页 |
| 4.1.3 液膜厚度调节重复性试验 | 第46-47页 |
| 4.2 静压支承间隙控制抛光试验 | 第47-54页 |
| 4.2.1 试验条件 | 第47-48页 |
| 4.2.2 静态刻蚀试验 | 第48-50页 |
| 4.2.3 动态刻蚀试验 | 第50-54页 |
| 4.3 本章小结 | 第54-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
