| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-29页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第13-17页 |
| 1.2 常用的波像差检测技术和方法 | 第17-24页 |
| 1.2.1 剪切干涉法 | 第18-21页 |
| 1.2.2 哈特曼法 | 第21-23页 |
| 1.2.3 点衍射干涉法 | 第23-24页 |
| 1.3 国内外发展现状 | 第24-27页 |
| 1.4 论文主要内容和结构安排 | 第27-29页 |
| 第2章 高NA投影光刻物镜波像差“逆向”检测实验方案设计 | 第29-61页 |
| 2.1 H-S波前传感器工作原理 | 第29-46页 |
| 2.1.1 光学系统波像差概述 | 第29-39页 |
| 2.1.2 H-S波前传感器工作原理 | 第39-46页 |
| 2.2 检测误差分析 | 第46-51页 |
| 2.2.1 质心探测误差 | 第46-47页 |
| 2.2.2 波前重构误差 | 第47页 |
| 2.2.3 实验器件机械失调量误差 | 第47-51页 |
| 2.3 “逆向”检测方案设计 | 第51-59页 |
| 2.3.1 整体方案设计 | 第51-54页 |
| 2.3.2 H-S波前传感器参数设计 | 第54-59页 |
| 2.4 本章小结 | 第59-61页 |
| 第3章 高精度质心探测算法优化 | 第61-79页 |
| 3.1 质心探测方法概述 | 第61-65页 |
| 3.1.1 图像滤波法 | 第61-63页 |
| 3.1.2 探测窗口法 | 第63-64页 |
| 3.1.3 阈值法 | 第64-65页 |
| 3.2 全局结合区域自适应分割窗口算法 | 第65-69页 |
| 3.2.1 全局处理 | 第66-68页 |
| 3.2.2 局部区域处理 | 第68-69页 |
| 3.3 仿真实验验证 | 第69-77页 |
| 3.3.1 噪声光斑处理 | 第69-71页 |
| 3.3.2 质心探测 | 第71-74页 |
| 3.3.3 波像差仿真检测 | 第74-77页 |
| 3.4 本章小结 | 第77-79页 |
| 第4章 波前重构算法改进研究 | 第79-99页 |
| 4.1 H-S波前传感器波前重构原理 | 第79-87页 |
| 4.1.1 区域重构算法 | 第79-83页 |
| 4.1.2 模式重构算法 | 第83-87页 |
| 4.2 二维插值多项式波前重构原理 | 第87-88页 |
| 4.3 仿真实验验证 | 第88-97页 |
| 4.3.1 二维插值多项式为基底可行性验证 | 第88-90页 |
| 4.3.2 二维插值多项式波前重构精度分析 | 第90-97页 |
| 4.4 本章小结 | 第97-99页 |
| 第5章 基于迭代傅里叶变换的相位恢复方法研究 | 第99-117页 |
| 5.1 传统H-S波前传感器原理误差分析 | 第99-100页 |
| 5.2 基于迭代傅里叶变换的相位恢复方法原理 | 第100-104页 |
| 5.3 仿真实验验证 | 第104-112页 |
| 5.4 实验验证 | 第112-115页 |
| 5.5 本章小结 | 第115-117页 |
| 第6章 投影物镜小比例模型波像差检测 | 第117-131页 |
| 6.1 投影物镜小比例模型（ST1）参数 | 第117-119页 |
| 6.2 波像差检测装置参数 | 第119-123页 |
| 6.3 波像差检测实验及数据处理 | 第123-127页 |
| 6.4 实验误差分析 | 第127-129页 |
| 6.5 本章小结 | 第129-131页 |
| 第7章 总结与展望 | 第131-135页 |
| 7.1 本文的主要工作 | 第131-132页 |
| 7.2 本文的创新之处 | 第132-133页 |
| 7.3 本文的不足及展望 | 第133-135页 |
| 参考文献 | 第135-145页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第145-147页 |
| 指导教师及作者简介 | 第147-149页 |
| 致谢 | 第149-150页 |