| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-21页 |
| 1. 研究动机和背景 | 第9-17页 |
| ·工艺偏差和可制造性设计 | 第10-12页 |
| ·哑元填充的应用场景 | 第12-17页 |
| 2. 哑元填充的基本步骤和研究现状 | 第17-19页 |
| 3. 本文的研究内容和主要贡献 | 第19-20页 |
| 4. 本文的组织结构 | 第20-21页 |
| 第二章 哑元填充的基本方法 | 第21-41页 |
| 1. 版图密度分析 | 第21-26页 |
| ·密度度量和固定划分机制 | 第21-25页 |
| ·余量提取 | 第25-26页 |
| 2. 哑元综合 | 第26-35页 |
| ·线性规划方法 | 第27-28页 |
| ·启发式算法 | 第28-32页 |
| ·可证优的(Provably Good)近似算法 | 第32-35页 |
| 3. 哑元分配 | 第35-39页 |
| 4. 本章小结 | 第39-41页 |
| 第三章 考虑梯度因素的哑元综合已有算法回顾 | 第41-46页 |
| 1. 密度梯度约束的定义 | 第41-42页 |
| 2. 类李氏(LIPCHITZ-LIKE)约束 | 第42-44页 |
| 3. 多层平滑(MULTI-LEVEL SMOOTHING)方法 | 第44-45页 |
| 4. 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 一种新的考虑梯度约束的有效哑元综合算法 | 第46-65页 |
| 1. 考虑梯度约束的哑元综合问题描述 | 第46-48页 |
| 2. 梯度约束处理 | 第48-51页 |
| 3. 迭代求解流程 | 第51-54页 |
| 4. 算法复杂度分析 | 第54-56页 |
| 5. 数值实验和分析 | 第56-63页 |
| 6. 本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 基于梯度热点聚类的改进算法 | 第65-74页 |
| 1. 热点聚类和局部求解 | 第67-68页 |
| 2. 完整算法流程 | 第68-69页 |
| 3. 算法分析 | 第69-70页 |
| 4. 数值实验和分析 | 第70-73页 |
| 5. 本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 哑元填充的未来发展—基于模型的填充方法初步探索 | 第74-86页 |
| 1. 密度规则驱动的哑元填充的局限性 | 第74-75页 |
| 2. 非传统的哑元填充方法 | 第75-78页 |
| ·考虑ECP模型的填充方法 | 第75-76页 |
| ·条件化填充方法 | 第76-78页 |
| 3. 基于CMP仿真模型的填充方法探索 | 第78-85页 |
| ·填充流程 | 第78-79页 |
| ·流程实现 | 第79-83页 |
| ·数值实验和分析 | 第83-85页 |
| 4. 本章小结 | 第85-86页 |
| 第七章 总结与展望 | 第86-88页 |
| 1. 全文总结 | 第86-87页 |
| 2. 未来展望 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-93页 |
| 已发表论文列表 | 第93-95页 |
| 致谢 | 第95-97页 |