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基于PN结的TiO2氧气传感器制备研究

中文摘要第1-5页
Abstract第5-6页
目录第6-9页
第1章 绪论第9-17页
   ·课题研究背景及研究意义第9页
   ·气体传感器概述第9-12页
     ·气体传感器检测方法与分类第10-11页
     ·半导体气体传感器第11-12页
   ·TiO_2材料简介及应用第12-13页
     ·TiO_2材料简介第12页
     ·TiO_2材料的应用第12-13页
   ·氧气传感器的研究现状及发展趋势第13-15页
     ·国外研究现状及发展趋势第13-14页
     ·国内研究现状及发展趋势第14-15页
   ·论文研究的主要内容第15-16页
   ·本章小结第16-17页
第2章 传感器敏感机理与结构原理第17-26页
   ·半导体传感器件气敏概论第17-18页
   ·气体吸附理论第18-19页
   ·温度及掺杂对敏感材料的影响第19-20页
   ·PN 结衬底对薄膜敏感性能的影响第20-22页
   ·势垒宽度的理论计算第22-24页
   ·本章小结第24-26页
第3章 PN 结基传感器结构的制作第26-39页
   ·氧气传感器的结构第26-27页
   ·传感器的基本制作流程第27-28页
   ·工艺过程掩膜版设计与制作第28-32页
     ·硅杯的掩膜版设计第29-30页
     ·PN 结光刻掩膜版设计与制作第30-31页
     ·电极掩膜版的设计与制作第31-32页
   ·硅杯结构的设计与制作第32-38页
     ·MEMS 技术概述第32-33页
     ·硅杯的腐蚀工艺第33-34页
     ·PN 结的制作第34-37页
     ·Pt 电极的制作第37-38页
   ·本章小结第38-39页
第4章 TiO_2薄膜制备与表征分析第39-59页
   ·薄膜技术概述第39-42页
     ·磁控溅射法第39页
     ·物理气相沉积法(PVD)第39-40页
     ·化学气相沉积法(CVD)第40页
     ·溶胶凝胶法(sol—gel)第40-41页
     ·微乳液法第41-42页
     ·水热合成法第42页
   ·溶胶凝胶法制作 TiO_2薄膜第42-49页
     ·实验材料及器材第43-44页
     ·TiO_2溶胶凝胶的制备第44-45页
     ·W 掺杂的 TiO_2溶胶制作第45-46页
     ·TiO_2薄膜制作第46-47页
     ·TiO_2薄膜热处理第47-49页
   ·TiO_2薄膜的表征与分析第49-58页
     ·X 射线衍射分析(XRD)第49-50页
     ·X 射线电子能谱分析(XPS)第50-54页
     ·原子力显微镜分析(AFM)第54-58页
   ·本章小结第58-59页
第5章 TiO_2 氧气传感器的性能测试第59-64页
   ·气敏测试环境第59-60页
   ·传感器性能测试第60-63页
     ·传感器性能参数第60-61页
     ·传感器灵敏度测试第61-62页
     ·响应时间与恢复时间测试第62-63页
   ·本章小结第63-64页
结论第64-66页
参考文献第66-73页
致谢第73-74页
攻读学位期间发表论文第74页

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